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MEMS技術を用いた集積流体慣性センサ

采用 MEMS 技术的集成流体惯性传感器

基本信息

批准号：
07F07386
负责人：
杉山進
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Ritsumeikan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至 2009
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07F07386/
关键词：
fluidic inertial sensor jet pump in-plane hotwire CNT

项目摘要

Si基板平面上にガス流体回路を構成し、その上に複数の温度検知用エレメントを最適配置することによって、標準的なMEMSプロセス技術により製作することが可能な新たな3軸流体ジャイロスコープを考案した。3軸ジャイロスコープの実現により、これまでに開発してきた2軸加速度センサと同一チップ上に集積し、5成分の運動量の計測が可能な集積慣性センサを実現することができた。2009年4月から2009年9月までに取り組んだ研究内容を以下に示す。流体式慣性センサの製作・パッケージングジャイロセンサの流路と、センシングエレメントとしてマイクロスケールのSiホットワイヤーブリッジを平面上に製作した。さらに同一基枚上に、3軸のジャイロセンサと2軸の加速度センサを集積した多軸慣性センサの製作およびパッケージングに成功した。流体式慣性センサ用マイクロジェットポンプの設計・シミュレーションと試作・評価マイクロポンプを開発・試作し、その特性を評価した。流体式センサに関して重要な特性であるジェットフローを作り出すことに成功した。また、センシングエレメントを有する流体回路デバイスも製作した。これは自動制御システム、バイオシステムの応用に有用である。さらに本研究では新しいセンシングエレメントの開発に向けてシングルウオールカーボンナノチューブ(SWNT)の熱的特性とアプリケーションを調査した。合成して並べられたSWNTフォレストフィルムのピエゾ抵抗効果とゼーベック効果に関して調査した。ピエゾ抵抗係数はシリコンの2倍であることが確認された。ゼーベック効果は金属の6倍であった。

Si substrate on the plane of the fluid circuit structure, and on the number of temperature information for the optimal configuration, standard MEMS technology for the production of new three-axis fluid circuit design 3-axis acceleration measurement is possible by measuring the cumulative inertia on the same axis. April 2009-September 2009 The following is a list of research topics. The flow path of the fluid is the same as the flow path of the fluid 3-axis acceleration integration on the same axis Design and evaluation of fluid inertia solutions; development of fluid inertia solutions; evaluation of fluid inertia solutions; The fluid type is very important. The fluid circuit is manufactured in a variety of ways. This is an automatic system, and it's useful to use it. In this study, we investigated the characteristics and characteristics of SWNT in the development of SWNT. The investigation of the effect of synthesis and synthesis of SWNT on the resistance of human beings The resistance coefficient is twice as high as that of the original.ゼーベック効果は金属の6倍であった。