カーボンナノチューブ機能性プローブの開発とナノ計測応用

碳纳米管功能探针研制及纳米测量应用

• 批准号: 07J00418
• 负责人: 村田 祐也
• 金额: $ 1.22万
• 依托单位: Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-07J00418/
• 关键词: グラファイト; 走査トンネル顕微鏡; 炭化シリコン; 酸化チタン; カーボンナノチュープ; 金属被膜; 4端子電気伝導計測; ナノ結晶; エルビウムシリサイド; 凹凸構造; コバルトシリサイド

カーボンナノチューブ機能性プローブの開発に応用するために、酸化チタンと炭化シリコン基板上でのグラファイト膜の成長過程その場観察、およびパターン化した炭化シリコン基板上でのグラファイト膜成長とそのデバイス利用を目的として研究をおこなった。1,グラファイト膜の成長過程その場観察高温の酸化チタンおよび炭化シリコン基板上にエチレンガスを蒸着し、走査トンネル顕微鏡によるその場観察をおこなった。酸化チタン基板上ではエチレンガスの蒸着により酸化チタン表面ステップの成長が観察された。このことは、エチレンガスの供給が、雰囲気中の残留酸素の表面吸着を促進することを示している。また炭化シリコン基板上では1000℃でグラファイトステップ構造の成長プロセスが観察された。2,パターン化した炭化シリコン基板上でのグラファイト膜成長とそのデバイス利用電子ビームリソグラフィにより炭化シリコン基板上をパターンエッチングし、その後真空中での加熱によりグラファイト膜を成長させた。このパターン化グラファイト膜を金/ポリイミド膜のスタンプにより炭化シリコン基板から引きはがし、別に用意した酸化シリコン基板に移し替えた。一方、パターン化しなかった炭化シリコン基板でも同様の実験をおこなったが、グラファイト膜を移し替えることはできなかった。パターン化によって炭化シリコン/グラファイト、およびグラファイト/金界面の吸着力が変化したものと考えられる。

カ ー ボ ン ナ ノ チ ュ ー ブ functional プ ロ ー ブ の open 発 に 応 with す る た め に, acidification チ タ ン と carbonized シ リ コ ン substrate で の グ ラ フ ァ イ ト membrane の growth process そ の 観 examine, お よ び パ タ ー ン change し た carbonized シ リ コ ン substrate で の グ ラ フ ァ イ ト film growth と そ の デ バ イ ス end using を と し て research を お こ な っ た. 1, グ ラ フ ァ イ ト membrane の grow そ 観 の field was made in the high temperature の acidification チ タ ン お よ び carbonized シ リ コ ン substrate に エ チ レ ン ガ ス を steamed し, walkthroughs ト ン ネ ル 顕 micromirror に よ る そ の field 観 examine を お こ な っ た. Acidification チ タ ン substrate で は エ チ レ ン ガ ス の steamed に よ り acidification チ タ ン surface ス テ ッ プ の growth が 観 examine さ れ た. こ の こ と は, エ チ レ ン ガ ス の supply が, 雰 囲 気 の の residual acid in surface sorption を promote す る こ と を shown し て い る. Youdaoplaceholder5 growth プロセスが観 observation された is formed on the また carbonized シリコ <e:1> substrate at で シリコ 1000 ° c でグラファ トステップ トステップ. 2, パ タ ー ン change し た carbonized シ リ コ ン substrate で の グ ラ フ ァ イ ト film growth と そ の デ バ イ ス using electronic ビ ー ム リ ソ グ ラ フ ィ に よ り carbonized シ リ コ ン substrate を パ タ ー ン エ ッ チ ン グ し, そ の after vacuum で の heating に よ り グ ラ フ ァ イ ト membrane を growth さ せ た. こ の パ タ ー ン change グ ラ フ ァ イ ト membrane を gold / ポ リ イ ミ ド membrane の ス タ ン プ に よ り carbonized シ リ コ ン substrate か ら lead き は が し purpose, don't に し た acidification シ リ コ ン substrate に move し for え た. Party, パ タ ー ン change し な か っ た carbonized シ リ コ ン substrate で も with others の be 験 を お こ な っ た が, グ ラ フ ァ イ ト membrane を move し for え る こ と は で き な か っ た. パ タ ー ン change に よ っ て carbonized シ リ コ ン / グ ラ フ ァ イ ト, お よ び グ ラ フ ァ イ ト の emphatically が absorption/gold interface - the し た も の と exam え ら れ る.

项目成果

3D imaging and spectroscopy of a self-organized nanocluster on the surface by scanning tunneling microscope with a metal-coated carbon nanotube tip

使用金属涂层碳纳米管尖端的扫描隧道显微镜对表面自组织纳米团簇进行 3D 成像和光谱分析

• 发表时间: 2007
• 作者: Ching Hung Lam;Hiroki Shimakura;島倉裕樹;島倉裕樹;Yuya Murata;Yuya Murata;松本 玄;Yuya Murata
• 通讯作者: Yuya Murata

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Scanning Tunneling Microscopy Imaging of Facet Surfaces of Self-Organized Nanocrystal using Metal-Coated Carbon Nanotube Tip

使用金属涂层碳纳米管尖端对自组织纳米晶体的小面进行扫描隧道显微镜成像

• 发表时间: 2008
• 期刊: Surface Science Vol.602
• 作者: Ching Hung Lam;Hiroki Shimakura;島倉裕樹;島倉裕樹;Yuya Murata
• 通讯作者: Yuya Murata

Scanning Tunneling Microscopy Profiling of Steep Ridges Using a Metal-Coated Nanotube Tip

使用金属涂层纳米管尖端对陡峭山脊进行扫描隧道显微镜分析

• 发表时间: 2007
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics Vol.46
• 作者: Ching Hung Lam;Hiroki Shimakura;島倉裕樹;島倉裕樹;Yuya Murata;Yuya Murata
• 通讯作者: Yuya Murata

金属被膜カーボンナノチューブ探針によるSi(111)上Geナノ結晶ファセット表面のSTM観察

使用金属涂覆碳纳米管尖端对 Si(111) 上 Ge 纳米晶面表面进行 STM 观察

• 发表时间: 2008
• 作者: Ching Hung Lam;Hiroki Shimakura;島倉裕樹;島倉裕樹;Yuya Murata;Yuya Murata;松本 玄
• 通讯作者: 松本 玄