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Micro 3D processing by laser ablation with a Bessel beam

Micro 3D processing by laser ablation with a Bessel beam
通过贝塞尔光束激光烧蚀进行微 3D 加工
批准号：
19360100
负责人：
TAKATA Yasuyuki
金额：
$12.48万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360100/
关键词：
レーザー加工ベッセルビーム熱工学マイクロマシン

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究の目的はレーザー微細加工に「深い焦点深度」を有するベッセルビームを適用することにより, 簡便なレーザー微細加工手法を開発することである. ベッセルビームによるレーザー加工では表面ダメージが生じ易いことが欠点として知られているが, 加工雰囲気を真空にするなど試料表面の酸化を防ぐことにより加工ダメージを大幅に低減できることが分かった. またベッセルビームを発生させる際に用いるアクシコンレンズに要求される加工精度は照射するレーザー光の波長が短いほど, アクシコンレンズ頂角が小さいほど高くなることを数値解析により見出した.
英文摘要
本研究の目的はレーザー微細加工に「深い焦点深度」を有するベッセルビームを適用することにより, 簡便なレーザー微細加工手法を開発することである. ベッセルビームによるレーザー加工では表面ダメージが生じ易いことが欠点として知られているが, 加工雰囲気を真空にするなど試料表面の酸化を防ぐことにより加工ダメージを大幅に低減できることが分かった. またベッセルビームを発生させる際に用いるアクシコンレンズに要求される加工精度は照射するレーザー光の波長が短いほど, アクシコンレンズ頂角が小さいほど高くなることを数値解析により見出した.
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会议论文
パルスベッセルレーザービームを用いたマイクロドリル加工
使用脉冲贝塞尔激光束进行微钻孔
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Y. TAKATA, et al., 乙藤拓人ら, 乙藤拓人ら]
通讯作者： 乙藤拓人ら
Laser Micro/Nano-Machining with a Bessel Beam
使用贝塞尔光束进行激光微/纳米加工
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Y. TAKATA, et al., 乙藤拓人ら, 乙藤拓人ら, 川内進司ら, Masamichi KOHNO et.al.]
通讯作者： Masamichi KOHNO et.al.
Study on work damage reduction in micro-drilling using a nano-second pulsed Bessel laser beam
纳秒脉冲贝塞尔激光束微钻孔加工损伤降低研究
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Masamichi KOHNO, et al., 乙藤 拓人, Shinji Kawauchi et.al.]
通讯作者： Shinji Kawauchi et.al.
ベッセルビームを用いたマイクロドリル加工における材質による加工ダメージの相違
使用贝塞尔光束进行微钻孔时，加工损伤因材料而异
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [Masamichi KOHNO, et al., 乙藤 拓人, Shinji Kawauchi et.al., 川内進司ら, 川内進司ら]
通讯作者： 川内進司ら
共 11 条
    Wetting dynamics coupling with liquid-vapor phase change and surface oxidation at high temperature
    • 批准号：
      16H02315
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $29.29万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      TAKATA Yasuyuki
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Heat Transfer Mechanism of a Boiling Bubble on Hydrophobic Surface under Subcooling
    • 批准号：
      25630068
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      TAKATA Yasuyuki
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Mechanism and Effect of Surface Conditions on Evaporation of Small Droplets for Innovative Rapid Cooling
    • 批准号：
      24246038
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $30.53万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      TAKATA Yasuyuki
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Stability of Vapor Film under High Subcooled Condition
    • 批准号：
      23656152
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      TAKATA Yasuyuki
    • 依托单位：
      Kyushu University
    海外基金