Micro 3D processing by laser ablation with a Bessel beam

通过贝塞尔光束激光烧蚀进行微 3D 加工

• 批准号: 19360100
• 负责人: TAKATA Yasuyuki
• 金额: $ 12.48万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360100/
• 关键词: レーザー加工; ベッセルビーム; 熱工学; マイクロマシン

本研究の目的はレーザー微細加工に「深い焦点深度」を有するベッセルビームを適用することにより, 簡便なレーザー微細加工手法を開発することである. ベッセルビームによるレーザー加工では表面ダメージが生じ易いことが欠点として知られているが, 加工雰囲気を真空にするなど試料表面の酸化を防ぐことにより加工ダメージを大幅に低減できることが分かった. またベッセルビームを発生させる際に用いるアクシコンレンズに要求される加工精度は照射するレーザー光の波長が短いほど, アクシコンレンズ頂角が小さいほど高くなることを数値解析により見出した.

The purpose of this study is to develop a simple and convenient micromachining method for the application of "deep focus depth" in micromachining. The surface of the sample is easy to produce, and the surface of the sample is easy to produce. The machining accuracy of the laser beam is required to be determined when the laser beam is generated. The wavelength of the laser beam is short, the vertex angle is small, and the value of the laser beam is high.

项目成果

パルスベッセルレーザービームを用いたマイクロドリル加工

使用脉冲贝塞尔激光束进行微钻孔

• 发表时间: 2008
• 作者: Y. TAKATA;et al.;乙藤拓人ら;乙藤拓人ら
• 通讯作者: 乙藤拓人ら

Laser Micro/Nano-Machining with a Bessel Beam

使用贝塞尔光束进行激光微/纳米加工

• 发表时间: 2008
• 作者: Y. TAKATA;et al.;乙藤拓人ら;乙藤拓人ら;川内進司ら;Masamichi KOHNO et.al.
• 通讯作者: Masamichi KOHNO et.al.

Study on work damage reduction in micro-drilling using a nano-second pulsed Bessel laser beam

纳秒脉冲贝塞尔激光束微钻孔加工损伤降低研究

• 发表时间: 2007
• 作者: Masamichi KOHNO;et al.;乙藤 拓人;Shinji Kawauchi et.al.
• 通讯作者: Shinji Kawauchi et.al.

ベッセルビームを用いたマイクロドリル加工における材質による加工ダメージの相違

使用贝塞尔光束进行微钻孔时，加工损伤因材料而异

• 发表时间: 2007
• 作者: Masamichi KOHNO;et al.;乙藤 拓人;Shinji Kawauchi et.al.;川内進司ら;川内進司ら
• 通讯作者: 川内進司ら

ベッセルビームを用いた金属のマイクロドリル加工において材質が加工ダメージにおよぼす影響

材料对贝塞尔光束金属微钻孔加工损伤的影响

• 发表时间: 2007
• 作者: Masamichi KOHNO;et al.;乙藤 拓人;Shinji Kawauchi et.al.;川内進司ら
• 通讯作者: 川内進司ら