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Application of catalytic chemical vapor deposition technique to oxidizing gases

Application of catalytic chemical vapor deposition technique to oxidizing gases
催化化学气相沉积技术在氧化气体中的应用
批准号：
19550015
负责人：
UMEMOTO Hironobu
金额：
$3.0万
依托单位：
Shizuoka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19550015/
关键词：
化学気相堆積酸化性ガス金属触媒酸素原子水素原子OHラジカルイリジウム触媒タングステン触媒

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
加熱金属表面における触媒分解過程が、これまでの還元性ラジカルの生成に加え、酸素原子やOHラジカルなどの酸化性ラジカルの選択的生成にも利用できることを示した。特に、イリジウムは、高温でも酸素や酸化窒素、水蒸気等によって酸化されることはなく、これを用いることにより金属汚染のない酸化物薄膜の成膜や表面処理が可能である。また、タングステンとイリジウムにおける発生ラジカル種の比較から、両者における反応過程の相違についての知見を得た。
英文摘要
加熱金属表面における触媒分解過程が、これまでの還元性ラジカルの生成に加え、酸素原子やOHラジカルなどの酸化性ラジカルの選択的生成にも利用できることを示した。特に、イリジウムは、高温でも酸素や酸化窒素、水蒸気等によって酸化されることはなく、これを用いることにより金属汚染のない酸化物薄膜の成膜や表面処理が可能である。また、タングステンとイリジウムにおける発生ラジカル種の比較から、両者における反応過程の相違についての知見を得た。
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会议论文
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DOI： --
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DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [梅本宏信, 森寺真司, 梅本宏信, 梅本宏信]
通讯作者： 梅本宏信
共 26 条
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