Application of catalytic chemical vapor deposition technique to oxidizing gases

催化化学气相沉积技术在氧化气体中的应用

• 批准号: 19550015
• 负责人: UMEMOTO Hironobu
• 金额: $ 3万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19550015/
• 关键词: 化学気相堆積; 酸化性ガス; 金属触媒; 酸素原子; 水素原子; OHラジカル; イリジウム触媒; タングステン触媒

加熱金属表面における触媒分解過程が、これまでの還元性ラジカルの生成に加え、酸素原子やOHラジカルなどの酸化性ラジカルの選択的生成にも利用できることを示した。特に、イリジウムは、高温でも酸素や酸化窒素、水蒸気等によって酸化されることはなく、これを用いることにより金属汚染のない酸化物薄膜の成膜や表面処理が可能である。また、タングステンとイリジウムにおける発生ラジカル種の比較から、両者における反応過程の相違についての知見を得た。

The decomposition process of catalyst by heating metal surface is shown in the following: the formation of reductive agent, the addition of acid atom OH, the formation of acidic agent. Special, high temperature, acid, acid, water vapor, etc., can be used to form films and surface treatments of metal dyes. The results of the comparison of the development process and the inverse process are obtained.

项目成果

有機ELの保護膜形成技術

有机EL保护膜形成技术

• 发表时间: 2008
• 期刊: 月間ディスプレイ Vol.14, No.9
• 作者: 部家彰;松尾直人;南川俊治;仁木敏一;南茂平;増田淳;梅本宏信;松村英樹
• 通讯作者: 松村英樹

酸素/水素混合系触媒分解過程における水素原子の検出

氧/氢混合体系催化分解过程中氢原子的检测

• 发表时间: 2007
• 作者: 梅本宏信;森寺真司;梅本宏信
• 通讯作者: 梅本宏信

Detection of Radical Species Produced by Catalytic Decomposition of H_2, 0_2 and their Mixtures on Heated Ir Surfaces

H_2、0_2及其混合物在加热Ir表面催化分解产生的自由基物质的检测

• 发表时间: 2009
• 期刊: Thin Solid Films (In press)
• 作者: H. Umemoto;et al.
• 通讯作者: et al.

最低励起三重項状態の窒素分子とC_2H_2(C_2D_2)との反応におけるH(D)原子の収率

最低激发三重态氮分子与C_2H_2(C_2D_2)反应中H(D)原子的产率

• 发表时间: 2007
• 作者: 梅本宏信;森寺真司;梅本宏信;梅本宏信
• 通讯作者: 梅本宏信

触媒CVD(Cat-CVD)の新展開-ラジカルを用いる新プロセス技術-

催化CVD (Cat-CVD)的新进展 - 使用自由基的新工艺技术 -

• 发表时间: 2008
• 作者: 梅本宏信;森寺真司;梅本宏信;梅本宏信;梅本宏信;梅本宏信
• 通讯作者: 梅本宏信