Design and fabrication of a highly dispersive optical prism with metal-and-dielectric subwavelength structure

金属介电亚波长结构高色散光学棱镜的设计与制造

• 批准号: 19560036
• 负责人: KIKUTA Hisao
• 金额: $ 2.66万
• 依托单位: Osaka Prefecture University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560036/
• 关键词: 微小光学; 金属誘電体多層膜; 分光プリズム

本研究では, 金属と誘電体からなるサブ波長周期格子を用いたスラブ導波路型の高分散分光プリズムの設計と試作に取り組んだ. 素子設計においては, 波長分散能に対するプリズム設計方法を確立するとともに, 集光機能を持った分光プリズムを提案した. 素子作製方法の開発では, 開口100nmの深溝にスパッタリングによって金属薄膜を設けた後に銅電解メッキで溝部に金属充填を行う方法, および, テトラクロロ金(III)酸を用いた前処理後に無電解メッキを施す方法について, プロセスを確立した.

In this paper, the design and experimental design of high dispersion optical spectroscopy for metal and dielectric materials with periodic lattice wavelength are studied. The design method of wavelength dispersion is established, and the light collection function is proposed. The preparation method of the element is to open a deep groove with an opening of 100nm and to fill the groove with a metal film after copper electrolysis. The preparation method is to fill the groove with a metal film after copper electrolysis.

项目成果

金属/誘電体多層構造プリズムのための金属クラッド光導波路の設計

金属/介质多层棱镜金属包覆光波导设计

• 发表时间: 2007
• 作者: 亀田信治;菊田久雄
• 通讯作者: 菊田久雄

金属/誘電体多層構造を用いた導波形レンズ

采用金属/电介质多层结构的波导透镜

• 发表时间: 2008
• 作者: 亀田信治;水谷彰夫;菊田久雄
• 通讯作者: 菊田久雄

Numerical study on a slab microlens with metal-and-dielectric multilayered structure

金属电介质多层结构平板微透镜的数值研究

• 发表时间: 2008
• 作者: S. Kameda;A. Mizutani;H. Kikuta
• 通讯作者: H. Kikuta

Refraction and Diffraction by a Metal and Dielectric Multilayered Prism

金属和电介质多层棱镜的折射和衍射

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of the Optical Society of America A Vol.25
• 作者: S. Kameda;Y. Ohta and H. Kikuta
• 通讯作者: Y. Ohta and H. Kikuta

Technical Strategy for advanced micro and nano-structured optical elements

先进微纳结构光学元件技术策略

• 发表时间: 2008
• 期刊: Proc. SPIE Vol.6834
• 作者: E.Rokuta;et al;H. Kikuta
• 通讯作者: H. Kikuta