Intellectual advancement on loose abrasive polishing for super mass production of crystal substrate

晶体基片超量产散磨料抛光的智力进展

• 批准号: 19560107
• 负责人: HORIO Kenichiro
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Saitama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560107/
• 关键词: 精密研磨; 両面研磨; 精密部品加工; ベベル形状; 修正輪型研磨; オスカー式研磨

超量産仕上げ加工を実現するための遊離砥粒研磨技術について検討した. 両面研磨加工技術については新規開発したスケルトン型加工装置により加工状況の把握, およびそれに基づく加工メカニズムの考察が可能となった. 表面形状加工技術については, オスカー型と修正輪型それぞれについて現象観察に基づく考察, および試料保持方法などの各種技術開発により数100倍の高能率化が図れる接触型研磨技術が適用可能であることを示した.

The technology of free abrasive grinding is discussed in the process of mass production. Surface grinding processing technology in the development of new rules and regulations for the development of new processing equipment for the control of processing conditions, basic processing equipment for the investigation of possible problems. Surface shape processing technology, such as grinding wheel type, grinding wheel type, grinding wheel type

项目成果

可視化研磨機による加工面観察(第2報)-溝付き定盤の場合-

使用可视化抛光机观察加工表面（第 2 份报告） - 如果是凹槽面板 -

• 发表时间: 2008
• 作者: 山崎次男;堀尾健一郎;松原巧季;金子順一
• 通讯作者: 金子順一

New Approaches of Bevel Shape Generation for Quartz Crystal

石英晶体斜角生成的新方法

• 发表时间: 2008
• 期刊: Proceedings of American Society for Precision Engineering
• 作者: Kenichiro Horio;Junichi Kaneko;Tsugio Yamazaki
• 通讯作者: Tsugio Yamazaki