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Intellectual advancement on loose abrasive polishing for super mass production of crystal substrate

Intellectual advancement on loose abrasive polishing for super mass production of crystal substrate
晶体基片超量产散磨料抛光的智力进展
批准号:
19560107
负责人:
HORIO Kenichiro
金额:
$2.91万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2007
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2007 至 2008

项目摘要

项目成果

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中文摘要
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超量産仕上げ加工を実現するための遊離砥粒研磨技術について検討した. 両面研磨加工技術については新規開発したスケルトン型加工装置により加工状況の把握, およびそれに基づく加工メカニズムの考察が可能となった. 表面形状加工技術については, オスカー型と修正輪型それぞれについて現象観察に基づく考察, および試料保持方法などの各種技術開発により数100倍の高能率化が図れる接触型研磨技術が適用可能であることを示した.
英文摘要
超量産仕上げ加工を実現するための遊離砥粒研磨技術について検討した. 両面研磨加工技術については新規開発したスケルトン型加工装置により加工状況の把握, およびそれに基づく加工メカニズムの考察が可能となった. 表面形状加工技術については, オスカー型と修正輪型それぞれについて現象観察に基づく考察, および試料保持方法などの各種技術開発により数100倍の高能率化が図れる接触型研磨技術が適用可能であることを示した.
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会议论文
可視化研磨機による加工面観察(第2報)-溝付き定盤の場合-
使用可视化抛光机观察加工表面(第 2 份报告) - 如果是凹槽面板 -
DOI: --
发表时间: 2008
期刊:
影响因子: --
作者: [山崎次男, 堀尾健一郎, 松原巧季, 金子順一]
通讯作者: 金子順一
DOI: --
发表时间: 2008
期刊: Proceedings of American Society for Precision Engineering
影响因子: --
作者: [Kenichiro Horio, Junichi Kaneko, Tsugio Yamazaki]
通讯作者: Tsugio Yamazaki
Development of three dimensional low frequency vibrating system for micro deep drilling of heat resistant alloy
  • 批准号:
    24560124
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $3.41万
  • 财政年份:
    2012
  • 负责人:
    HORIO Kenichiro
  • 依托单位:
Development of ultra-precision cutting method for composite material with thermosetting resin and electric conductor
  • 批准号:
    21560111
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $3.0万
  • 财政年份:
    2009
  • 负责人:
    HORIO Kenichiro
  • 依托单位:
海外基金