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A study on thermoelastic damping properties of MEMS resonators

A study on thermoelastic damping properties of MEMS resonators
MEMS谐振器热弹性阻尼特性研究
批准号：
19560088
负责人：
MATSUMOTO Toshiro
金额：
$2.91万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560088/
关键词：
電子デバイス・機器マイクロ・ナノデバイスMEMS共振子

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英文摘要
本研究では, MEMSやマイクロSAW共振子が振動する際の熱と弾性変形の連成振動エネルギーの減衰特性を数値計算により明らかにした.1次元の振動状態を想定してモデルに対して選点法と有限要素法により周波数応答を解析した.その結果, 熱の連成を考慮しない場合と比べて共振峰のピークが右側にずれることが分かった.また, その理由を微分方程式に戻り理論的に説明した.また, Q値が最小になる物体サイズが存在することが分かった.
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会议论文
選点法による圧電熱弾性振動解析
采用搭配法的压电热弹性振动分析
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [榊裕梨, 高橋徹, 松本敏郎]
通讯作者： 松本敏郎
Analysis of Frequency Locations of the In-Harmonics in Quartz Surface Acoustic Wave Resonators Using Helmholtz Equations
DOI： 10.1143/jjap.46.1193
发表时间： 2007-03
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [M. Takagi;S. Kanna;Toshiro Matsumoto]
通讯作者： M. Takagi;S. Kanna;Toshiro Matsumoto
A BEM to time-hamonic vibration analyses of 3D piezoelectric solids
3D 压电固体的 BEM 时谐振动分析
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Advances in Boundary Element Techniques VIII, (Eds.) V. Minutolo, M.H. Aliabadi
影响因子： --
作者： [M. Takagi, T. Matsumoto, H. Ito, K. Kamiya, M. Tanaka]
通讯作者： M. Tanaka
圧電体の3次元熱弾性定常振動解析
压电材料的 3D 热弹性稳态振动分析
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [伊藤大徳, 高橋徹, 高木道明, 松本敏郎]
通讯作者： 松本敏郎
共 8 条
    Topology optimization study of antenna shapes for electromagnetic energy harvesting
    • 批准号：
      25630035
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      MATSUMOTO Toshiro
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Zero-energy production system of new character plant with ICT by Photovoltaics
    • 批准号：
      24656583
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      MATSUMOTO Toshiro
    • 依托单位：
      Kinki University
    Synthesis of phononic periodic structures with dynamic damping structure
    • 批准号：
      23656121
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.58万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      MATSUMOTO Toshiro
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Economic Reconstruction in NortheastChina observed inthe documents of Chinese, US and Japanese government
    • 批准号：
      21530340
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.25万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      MATSUMOTO Toshiro
    • 依托单位：
      Okayama University
    海外基金