A study on thermoelastic damping properties of MEMS resonators

MEMS谐振器热弹性阻尼特性研究

• 批准号: 19560088
• 负责人: MATSUMOTO Toshiro
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560088/
• 关键词: 電子デバイス・機器; マイクロ・ナノデバイス; MEMS共振子

本研究では, MEMSやマイクロSAW共振子が振動する際の熱と弾性変形の連成振動エネルギーの減衰特性を数値計算により明らかにした.1次元の振動状態を想定してモデルに対して選点法と有限要素法により周波数応答を解析した.その結果, 熱の連成を考慮しない場合と比べて共振峰のピークが右側にずれることが分かった.また, その理由を微分方程式に戻り理論的に説明した.また, Q値が最小になる物体サイズが存在することが分かった.

In this paper, the thermal and mechanical properties of MEMS SAW resonators during vibration are analyzed by finite element method. As a result, the heat wave is connected to the resonance peak in the case where the resonance peak is located on the right side. The reason for this differential equation is that it explains the theory. Q is the smallest object in existence.

项目成果

選点法による圧電熱弾性振動解析

采用搭配法的压电热弹性振动分析

• 发表时间: 2008
• 作者: 榊裕梨;高橋徹;松本敏郎
• 通讯作者: 松本敏郎

Analysis of Frequency Locations of the In-Harmonics in Quartz Surface Acoustic Wave Resonators Using Helmholtz Equations

• DOI: 10.1143/jjap.46.1193
• 发表时间: 2007-03
• 期刊: Japanese Journal of Applied Physics
• 影响因子: 1.5
• 作者: M. Takagi;S. Kanna;Toshiro Matsumoto

A BEM to time-hamonic vibration analyses of 3D piezoelectric solids

3D 压电固体的 BEM 时谐振动分析

• 发表时间: 2007
• 期刊: Advances in Boundary Element Techniques VIII, (Eds.) V. Minutolo, M.H. Aliabadi
• 作者: M. Takagi;T. Matsumoto;H. Ito;K. Kamiya;M. Tanaka
• 通讯作者: M. Tanaka

圧電体の3次元熱弾性定常振動解析

压电材料的 3D 热弹性稳态振动分析

• 发表时间: 2007
• 作者: 伊藤大徳;高橋徹;高木道明;松本敏郎
• 通讯作者: 松本敏郎

弾性表面波素子の熱弾性減衰振動解析

声表面波器件的热弹性阻尼振动分析

• 发表时间: 2008
• 作者: 榊裕梨;高橋徹;松本敏郎
• 通讯作者: 松本敏郎