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Selective film by molecular template method and its application on surface acoustic wave sensor

Selective film by molecular template method and its application on surface acoustic wave sensor
分子模板法选择性薄膜及其在声表面波传感器中的应用
批准号：
19560427
负责人：
NOMURA Tooru
金额：
$2.91万
依托单位：
Shibaura Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560427/
关键词：
センシングデバイス感応膜SAWセンサSAW-ID簡易LB膜分子膜SAW-RFID無線センサシステム簡易LB膜法部分キャスト

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SAWデバイスを利用したマルチチャネルセンサの構成とそのガスセンシングへの応用について示す。化学特にガスセンサでは、複数のセンサの応答よりガスの識別を行う。本研究では、同一基板に複数のSAW遅延線を並べ、入力には一個のドッグレッグIDTを用いたセンサアレイによるガスセンシングについて提案した。このセンサアレイと増幅器による自励発振器を構成したセンサシステムでは、自動的に温度補償が行え、チャネル間のクロストークも小さいことが分かった。また、ガスセンサに重要な感応膜の塗布に、簡易LB膜法を用いることにより、センサアレイの各チャネルの微小な部分に正確に再現性よく塗布することができた。応用では、このセンサを有機ガスの識別に適用し、いくつかのサンプルガスに対し、ユニークな応答パターンを得た。
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会议论文
簡易LB膜と弾性表面波デバイス
简单的LB膜和声表面波装置
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [小野瀬康隆, 野村徹]
通讯作者： 野村徹
Methanol sensor using surface acoustic wave resonator
使用表面声波谐振器的甲醇传感器
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Nomura, A. Saitoh, T. Mochizuki]
通讯作者： T. Mochizuki
SAWデバイスによる二次元ひずみの測定
使用 SAW 装置进行二维应变测量
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [川崎幸一郎, 野村徹]
通讯作者： 野村徹
[招待講演]弾性表面波とセンサ
[特邀报告]声表面波与传感器
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [綾野克紀, 小河内誠, 藤井隆史, 入矢桂史郎, H. Kano and H. Fujioka, 野村徹]
通讯作者： 野村徹
共 29 条
    Study of multi-functional surface acoustic wave sensor using Langmuir-Blodgett (LB) method
    • 批准号：
      15560363
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.37万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      NOMURA Tooru
    • 依托单位：
      Shibaura Institute of Technology
    海外基金