Ultra-Precision Measurement System for Large Aspheric Molding Die

大型非球面模具超精密测量系统

• 批准号: 19760092
• 负责人: CAO Guohui
• 金额: $ 1.89万
• 依托单位: Chubu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760092/
• 关键词: 超精密加工; 非球面金型; X線望遠鏡; 形状計測

大型非球面金型(直径300mm及び500mm、ミラー面の長さ400mmの放物面と双曲面からなる)を超精密ダイヤモンド切削し、その形状を機上の変位センサーで測定し、補正加工した。その結果、形状精度±92nmを得た。円筒の場合、形状精度±54nmを得た。上記の形状計測実験を通じて、機上超精密非球面形状計測法を開発した。

Large aspheric gold mold (diameter 300mm and 500mm, surface length 400mm, surface and hyperboloid) for ultra-precision cutting, shape and position measurement on the machine, correction processing Results, shape accuracy ±92nm. The accuracy of the shape and position of the cylinder is ±54nm. The shape measurement method of the above-mentioned system was developed through the development of ultra-precision aspheric shape measurement method on the machine.

项目成果

Straightness Error Compensation for Ultra-Precision Machining Based on a Straighfness Gauge

基于直线度规的超精密加工直线度误差补偿

• 发表时间: 2007
• 作者: Guohui Cao;Yoshiharu Namba;Guohui CAO
• 通讯作者: Guohui CAO

Precision Shape Measurement of Large Aspheric Optics Based onError Compensation

基于误差补偿的大型非球面光学器件的精密形状测量

• 发表时间: 2008
• 作者: Cao;Guohui
• 通讯作者: Guohui

誤差補正による非球面光学素子の超精密形状計測

使用误差校正对非球面光学元件进行超精密形状测量

• 发表时间: 2008
• 作者: Cao;Guohui;曹国輝,難波義治
• 通讯作者: 曹国輝,難波義治

非球面光学素子の形状計測

非球面光学元件的形状测量

• 发表时间: 2009
• 作者: Guohui Cao;Yoshiharu Namba;曹国輝,難波義治
• 通讯作者: 曹国輝,難波義治

Straightness Error Compensation for Ultra-Precision Machining Based on a Straightness Gauge

• DOI: 10.4028/www.scientific.net/kem.381-382.105
• 发表时间: 2008-06
• 期刊: Key Engineering Materials
• 作者: G. Cao;Y. Namba