Stamping transfer method for large-area, function-integration, flexible MEMS devices
Stamping transfer method for large-area, function-integration, flexible MEMS devices
大面积、功能集成、柔性MEMS器件的冲压转移方法
批准号：
19681014
负责人：
IWASE Eiji
金额：
$14.31万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
中文摘要
翻译
スタンピング転写を用いることにより、別々の基板上で製作したMEMS構造をフレキシブルシート上に集積した。これにより、今までフレキシブルシート上には製作が困難であった3次元構造や可動機構をもつMEMSデバイスが実現可能となる。本研究を実現する過程で、スタンピング転写の転写率・転写位置精度、平面ギャップの製作精度の評価を行った。また、実際に3次元構造および可動機構を有する応用的な光MEMSデバイスをPDMSシート上に作成できることを示した。
英文摘要
スタンピング転写を用いることにより、別々の基板上で製作したMEMS構造をフレキシブルシート上に集積した。これにより、今までフレキシブルシート上には製作が困難であった3次元構造や可動機構をもつMEMSデバイスが実現可能となる。本研究を実現する過程で、スタンピング転写の転写率・転写位置精度、平面ギャップの製作精度の評価を行った。また、実際に3次元構造および可動機構を有する応用的な光MEMSデバイスをPDMSシート上に作成できることを示した。
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会议论文
Hidden Vertical Comb-Drive Actuator on PDMS Fabricated by Parts-Transfer
通过零件转移制造的 PDMS 上隐藏式垂直梳状驱动执行器
通过零件转移制造的 PDMS 上隐藏式垂直梳状驱动执行器
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Eiji Iwase, Hiroaki Once, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama]
通讯作者：
Isao Shimoyama
Temperature-Controlled Transfer and Self-Wiring for Multi-Color LED Display on a Flexible Substrate
柔性基板上多色 LED 显示屏的温控传输和自接线
柔性基板上多色 LED 显示屏的温控传输和自接线
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Eiji Iwase, Hiroaki Onoe, Akihito Nakai, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama]
通讯作者：
Isao Shimoyama
emperature-Controlled Transfer and Self-Wiring for Multi-Color LED Display on a Flexible Substrate
柔性基板上多色 LED 显示屏的温控传输和自接线
柔性基板上多色 LED 显示屏的温控传输和自接线
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Eiji Iwase, Hiroaki Onoe, Akihito Nakai, Kiyoshi Matsumoto, Isao Shimoyama, Eiji Iwase]
通讯作者：
Eiji Iwase
Visual texture presentable sheet device
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批准号：15K13918
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项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
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资助金额：$2.5万
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财政年份：2015
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负责人：IWASE Eiji
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依托单位：