Development of AFM lithography for conductance measurements of single molecules

开发用于单分子电导测量的 AFM 光刻技术

• 批准号: 19760019
• 负责人: AKIYAMA Kotone
• 金额: $ 2.4万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760019/
• 关键词: 走査プローブ顕微鏡

原子間力顕微鏡(AFM)の探針先端から電界蒸発により原子を飛ばし試料表面にパターン描画するAFMリソグラフィー手法をより精度の高い手法として確立した。水晶振動子に取り付けた極細金属ワイヤーを集束イオンビームにより加工してAFM探針とし、非接触法によって探針・試料間距離制御を行うことにより、自然酸化膜付きのSi基板上に線幅20〜30nm程度の金属細線描画や金属ナノドットのパターン形成を行った。

Atomic Force Microscope (AFM) probe tip is highly accurate and reliable. Crystal oscillator pick up fine metal, cluster, sample, distance control, AFM probe, non-contact method, metal fine line drawing with width of 20 ~ 30nm on Si substrate, metal fine line formation, etc.

项目成果

高精度AFMリソグラフィー手法の開発による単一分子の電気伝導測定

开发高精度AFM光刻方法测量单分子电导率

• 发表时间: 2008
• 作者: W. Yashiro;Y. Yoda;K. Takahashi;M. Yamamoto;T. Hattori,;K. Miki;秋山琴音
• 通讯作者: 秋山琴音

Nanoscale lithography with frequency-modulation atomic force microscopy.

• DOI: 10.1063/1.3043435
• 发表时间: 2008-12
• 期刊: The Review of scientific instruments
• 作者: M. Hamada;T. Eguchi;K. Akiyama;Yukio Hasegawa

Mechanical and electrical measurements of nano-materials

纳米材料的机械和电气测量

• 发表时间: 2009
• 作者: Kotone Akiyama;et. al.;Kotone Akiyama;W. Yashiro;Kotone Akiyama
• 通讯作者: Kotone Akiyama

Nano-scale lithography with frequency modulation atom is force microscopy

调频原子纳米级光刻就是力显微镜

• 发表时间: 2008
• 作者: Kotone Akiyama;et. al.;Kotone Akiyama;W. Yashiro;Kotone Akiyama;Kotone Akiyama
• 通讯作者: Kotone Akiyama

Nanoscale chemical imaging by scanning tunneling microscopy assisted by synchrotron radiation

同步辐射辅助扫描隧道显微镜纳米级化学成像

• 发表时间: 2009
• 期刊: Physical Review Letters 102
• 作者: T. Okuda;T. Eguchi;Kotone Akiyama;A. Harasawa;T. Kinoshita;Y. Hasegawa;M. Kawamori;Y. Haruyama;S. Matsui
• 通讯作者: S. Matsui