Development of AFM lithography for conductance measurements of single molecules
Development of AFM lithography for conductance measurements of single molecules
开发用于单分子电导测量的 AFM 光刻技术
批准号：
19760019
负责人：
AKIYAMA Kotone
金额：
$2.4万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
关键词：
中文摘要
翻译
原子間力顕微鏡(AFM)の探針先端から電界蒸発により原子を飛ばし試料表面にパターン描画するAFMリソグラフィー手法をより精度の高い手法として確立した。水晶振動子に取り付けた極細金属ワイヤーを集束イオンビームにより加工してAFM探針とし、非接触法によって探針・試料間距離制御を行うことにより、自然酸化膜付きのSi基板上に線幅20〜30nm程度の金属細線描画や金属ナノドットのパターン形成を行った。
英文摘要
原子間力顕微鏡(AFM)の探針先端から電界蒸発により原子を飛ばし試料表面にパターン描画するAFMリソグラフィー手法をより精度の高い手法として確立した。水晶振動子に取り付けた極細金属ワイヤーを集束イオンビームにより加工してAFM探針とし、非接触法によって探針・試料間距離制御を行うことにより、自然酸化膜付きのSi基板上に線幅20〜30nm程度の金属細線描画や金属ナノドットのパターン形成を行った。
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高精度AFMリソグラフィー手法の開発による単一分子の電気伝導測定
开发高精度AFM光刻方法测量单分子电导率
开发高精度AFM光刻方法测量单分子电导率
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[W. Yashiro, Y. Yoda, K. Takahashi, M. Yamamoto, T. Hattori,, K. Miki, 秋山琴音]
通讯作者：
秋山琴音
DOI：
10.1063/1.3043435
发表时间：
2008-12
期刊：
The Review of scientific instruments
影响因子：
--
作者：
[M. Hamada;T. Eguchi;K. Akiyama;Yukio Hasegawa]
通讯作者：
M. Hamada;T. Eguchi;K. Akiyama;Yukio Hasegawa
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kotone Akiyama, et. al., Kotone Akiyama, W. Yashiro, Kotone Akiyama]
通讯作者：
Kotone Akiyama
DOI：
--
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
作者：
[Kotone Akiyama, et. al., Kotone Akiyama, W. Yashiro, Kotone Akiyama, Kotone Akiyama]
通讯作者：
Kotone Akiyama
Nanoscale chemical imaging by scanning tunneling microscopy assisted by synchrotron radiation
同步辐射辅助扫描隧道显微镜纳米级化学成像
同步辐射辅助扫描隧道显微镜纳米级化学成像
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
Physical Review Letters 102
影响因子：
--
作者：
[T. Okuda, T. Eguchi, Kotone Akiyama, A. Harasawa, T. Kinoshita, Y. Hasegawa, M. Kawamori, Y. Haruyama, S. Matsui]
通讯作者：
S. Matsui
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