Separation and Recovery Process of Tetraalkylammonium Hydroxidefrom Photoresist Waste
Separation and Recovery Process of Tetraalkylammonium Hydroxidefrom Photoresist Waste
光刻胶废料中四烷基氢氧化铵的分离回收工艺
批准号：
19760530
负责人：
NISHIHAMA Syouhei
金额：
$2.19万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
中文摘要
翻译
本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンドオブパイプで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めた。ゼオライトAおよびX吸着剤を開発し、バッチ吸着特性を明らかにした。加えて造粒吸着剤を開発し、カラム操作でのTAAHの吸着分離プロセスを開発した。
英文摘要
本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンドオブパイプで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めた。ゼオライトAおよびX吸着剤を開発し、バッチ吸着特性を明らかにした。加えて造粒吸着剤を開発し、カラム操作でのTAAHの吸着分離プロセスを開発した。
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会议论文
ゼオライトを用いた水溶液中からの水酸化テトラメチルアンモニウムの吸着分離
利用沸石吸附分离水溶液中四甲基氢氧化铵
利用沸石吸附分离水溶液中四甲基氢氧化铵
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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作者：
[鷹取康平, 西浜章平, 吉塚和治.]
通讯作者：
吉塚和治.
Zeolitic Adsorbents for Separation and Recovery of Tetramethyl Ammonium Hydroxide
用于分离和回收四甲基氢氧化铵的沸石吸附剂
用于分离和回收四甲基氢氧化铵的沸石吸附剂
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
Proc. Third Intel Conf Processing of Materials for Properties (PMP- III) (CD-ROM)
影响因子：
--
作者：
[Takatori, K. ; Nishihama, S. ; Yoshizuka, K]
通讯作者：
K
Separation and Recovery Process of Tetramethylammonium Hydroxide with Mesoporous Silica Adsorbent
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批准号：21760614
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.91万
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财政年份：2009
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负责人：NISHIHAMA Syouhei
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依托单位：
海外基金
