Separation and Recovery Process of Tetraalkylammonium Hydroxidefrom Photoresist Waste

光刻胶废料中四烷基氢氧化铵的分离回收工艺

• 批准号: 19760530
• 负责人: NISHIHAMA Syouhei
• 金额: $ 2.19万
• 依托单位: The University of Kitakyushu
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760530/
• 关键词: 反応・分離工学; 廃棄物処理; イオン交換; ゼオライト; 水酸化テトラアルキルアンモニウム; 吸着

本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンドオブパイプで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めた。ゼオライトAおよびX吸着剤を開発し、バッチ吸着特性を明らかにした。加えて造粒吸着剤を開発し、カラム操作でのTAAHの吸着分離プロセスを開発した。

This study is aimed at establishing a possible system for water treatment by adsorption method and low cost method for separation and recovery of aqueous acidizing solution (TAAH). The absorption properties of A and X are clearly defined. The sorptive separation of TAAH during granulation and operation is developed.

项目成果

ゼオライトを用いた水溶液中からの水酸化テトラメチルアンモニウムの吸着分離

利用沸石吸附分离水溶液中四甲基氢氧化铵

• 发表时间: 2008
• 作者: 鷹取康平;西浜章平;吉塚和治.
• 通讯作者: 吉塚和治.

Zeolitic Adsorbents for Separation and Recovery of Tetramethyl Ammonium Hydroxide

用于分离和回收四甲基氢氧化铵的沸石吸附剂

• 发表时间: 2009
• 期刊: Proc. Third Intel Conf Processing of Materials for Properties (PMP- III) (CD-ROM)
• 作者: Takatori;K. ; Nishihama;S. ; Yoshizuka;K
• 通讯作者: K