权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

知的精密測定法による次世代高精度マイクロ非球面形状の精密ナノ計測

使用智能精密测量方法对下一代高精度微型非球面形状进行精确纳米测量

基本信息

批准号：
08J01982
负责人：
渋谷篤史
金额：
$ 0.38万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至 2009
项目状态：
已结题

项目摘要

マイクロ非球面レンズは内視鏡を用いた低侵襲治療や光ファイバを用いての光通信技術の重要な構成要素の1つである.マイクロ非球面レンズは100nmより高い形状精度が求められており,その形状精度を達成するためには±10nmの形状計測精度が必要となる.本研究課題の目標達成のために本年度は主に以下の2点について研究を行った.1.マイクロスタイラスの開発:一般に接触式変位計のスタイラス先端には球が取り付けられており,球を測定対象に押し付け変位を測定することで形状を得ている.現在市販されているスタイラスで先端球の直径が最も小さいものは直径が300μmほどで,直径が1mm程度のマイクロ非球面形状を計測するためには先端球直径が大きすぎる.本研究では,真球度が高い直径100μmのマイクロガラス球とガラスチューブを用いたマイクロスタイラスを開発した.マイクロスタイラスは100mN以上の接着強度をもち,非常に安価であるといった特長をもっている.2.タッピング型マイクロスタイラスの開発:先端の細いマイクロスタイラスは測定対象表面との摩擦力による影響を受けやすい.摩擦力の影響を低減するためスタイラス先端を高周波で感度方向に振動させることで接触時間を短縮しスタイラスの曲がりやスティックスリップの影響を低減するタッピング型マイクロスタイラスを開発した.タッピング型マイクロスタイラスを用いることで,スティックスリップ等の影響を低減し,計測の繰り返し性を10倍向上させることができた.

Aspherical lens is an important component of optical communication technology for low invasive therapy in endoscope application. Aspherical surface measurement accuracy is 100nm, and shape measurement accuracy is ±10nm. The goal of this research project has been achieved. This year, the following two main points have been studied. 1. Development of contact type: general contact type position meter, contact type ball meter, The diameter of the tip sphere is the smallest, the diameter of the tip sphere is 300μm, and the diameter of the tip sphere is 1 mm. In this research, we have developed the use of maikoross taikoross balls with a high sphericity and a diameter of 100μm. The adhesive strength of more than 100mN is changed, and the safety is very high. 2. The development of the adhesive strength of more than 100mN is determined. The friction force of the object surface is affected. The influence of friction force is reduced. The contact time is shortened. The influence of friction force is reduced. The contact time is shortened. The impact of the test is reduced by 10 times.