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シンクロトロン放射光を用いた三次元微細加工技術の確立に関する研究

利用同步辐射建立三维微加工技术的研究

基本信息

批准号：
08J09394
负责人：
洞出光洋
金额：
$ 0.77万
依托单位：
Ritsumeikan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2008
资助国家：
日本
起止时间：
2008 至 2009
项目状态：
已结题

项目摘要

MEMSの高度化に向けて、自由曲面や側壁傾斜を有する三次元微細構造体作製の要求が高まっている。本研究ではこの要求の実現を目指し、シンクロトロン放射(SR : Synchrotron Radiation)光リソグラフィによる高精度三次元微細加工技術の確立を目的とし、以下に示す方法を用いて実現に向けた研究を行った。(1)SR光の整形ビームによる三次元加工法の提案これまでに行われてきた三次元加工法の課題として、プロセスの複雑性や材料加工の困難性が高く、製作可能な構造体が限定される点などが挙げられた。本研究では、任意の形状の三次元加工をSR光の整形ビームによるマスクレス露光にて行う方法について研究を行ってきた。当該年度においては、ニーズの視点「この形はこの条件で加工する」という発想をベースに、目標三次元形状を作製するために必要な工程条件の導出に取組んできた。これまでに、オーバーラップを考慮して露光量を算出し、目標形状通りの三次元形状を作製することを可能にした。(2)SR光を用いた三次元構造体作製における形状予測手法の提案本研究では三次元微細構造体作製方法の一つであるX線平面パターン断面転写法(PCT法)の加工メカニズムを詳細に調査し、PCT法による三次元構造体の形状を容易に算出させることを目的とし、新規のアルゴリズムを考案した。このアルゴリズムは非常にシンプルで計算コストを抑えた手法であり、実際に三次元構造体の形状予測を可能にした。また、本研究ではこれまで難加工材として微細加工技術が進展していなかったフッ素樹脂の三次元微細加工についても研究を行っており、PTFEの三次元微細構造体の形状予測手法を示すことができた。SR光を用いた三次元微細加工技術の確立を目指す上で、三次元構造体の形状予測に関する研究はコスト・開発時間の短縮に繋がる重要な研究課題の一つである。

MEMS elevation direction, free-form surface wall skew, three-dimensional micro-structure structure requires that the height is high. In this study, it is required that the target and radiation (SR: Synchrotron Radiation) of high-precision three-dimensional micromachining technology should be determined, and the following methods should be used to improve the performance of the system. (1) the proposal of the SR optical plastic surgery system for the three-dimensional processing method is that the problem of the three-dimensional processing method, the complexity of the material processing is very difficult, and it is possible to limit the quality of the material. In this study, the three-dimensional machining of "shape" and "shape" is called "SR optical plastic surgery", "plastic surgery", "exposure", "row" method, "research", "line". During the year, when you want to make sure that the three-dimensional shape is important, the necessary engineering conditions will lead to the selection of components. The amount of light exposure is calculated, and the three-dimensional shape is used to determine the possibility. (2) the SR X-ray uses the three-dimensional structure to make the shape for the device. In this study, the three-dimensional micro-structure method is used in this study. X-ray plane and cross-section writing method (PCT method). The shape of the three-dimensional structure is easy to calculate the purpose and the new rules. It is very important to calculate the shape of the three-dimensional structure to show that it is possible. In this study, the development of the micromachining technology of processed materials is very important. The three-dimensional micro-processing of grease is studied. The shape of the three-dimensional micro-structure of PTFE is shown by the method. SR X-ray uses three-dimensional micromachining technology to make sure that the target and three-dimensional body shapes are used to make sure that the three-dimensional micromachining technology is used to make sure that the three-dimensional micromachining technology is used to make sure that the three-dimensional micromachining technology is used to create the shape of the three-dimensional micromachining technology.

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

シンクロトロン放射光の整形ビームによるPMMAの三次元加工法の提案

提出使用同步辐射整形光束的 PMMA 三维加工方法

DOI：
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
0
作者：
洞出光洋;杉山進
通讯作者：
杉山進

Study on Deep X-ray lithography for Fabrication of Microactuator

微执行器深X射线光刻技术研究

DOI：
发表时间：
2008
期刊：
MEMOIRS OF THE SR CENTER, RITSUMEIKAN UNIVERSITY 10
影响因子：
0
作者：
M. Horade;S. Kajita;S. khumpuang;S. Sugiyama;S. Schonhardt;U. Wallrabe;J. G. Korvink
通讯作者：
J. G. Korvink

Fabrication of 3-D Microstructures by Shaped Beam Using Mask-less SR Lithography

使用无掩模 SR 光刻通过异形光束制造 3D 微结构