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Remote-plasma-enhance MOCVD growth of ZnO-based systems for high-performance nano-structrured optical devices

Remote-plasma-enhance MOCVD growth of ZnO-based systems for high-performance nano-structrured optical devices
用于高性能纳米结构光学器件的 ZnO 基系统的远程等离子体增强 MOCVD 生长
批准号：
20310059
负责人：
TEMMYO Jiro
金额：
$12.48万
依托单位：
Shizuoka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20310059/
关键词：
ナノ構造形成制御ZnO系混晶MOCVD成長励起子ラジカルショットキーフォトダイオード酸化亜鉛系薄膜有機金属気相堆積法光デバイス量子効果

项目摘要

项目成果

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中文摘要
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采用远程等离子体增强CVD方法研究了低功耗绿色器件的zno基合金体系。利用电流注入多量子阱结构的zno基发光二极管，成功地证明了其绿色电致发光特性。制备了乙醇CVD生长的石墨烯层，证明了透明导电膜电极的可行性。
英文摘要
We studied ZnO-based alloy system using remote-plasma-enhanced CVD method for low-power consumption green devices. Green electroluminescence (EL) emission was successfully demonstrated by current injection into ZnO-based light emitting diodes with multi-quantum well structures. Alcohol CVD grown graphene layers were achieved to shows a feasibility of transparent conductive film electrodes.
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会议论文
Schottky barrier contacts formed on polar and nonpolar MgZnO films grown by RPE-MOCVD
RPE-MOCVD 生长的极性和非极性 MgZnO 薄膜上形成肖特基势垒接触
DOI： --
发表时间： 2010
期刊： phys.status solidi B247
影响因子： --
作者： [A.Nakamura, T.Hayashi, A.Hierro, G.Tabares, J.M.Ulloa, E.Munoz, J.Temmyo]
通讯作者： J.Temmyo
ZnCdO/ZnO多重量子構造の成長温度依存性
ZnCdO/ZnO 多量子结构的生长温度依赖性
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [西澤学, 高畑直人, 佐野有司, 上野雄一郎, 丸山茂徳, Kenji Yamamoto, 山本兼司]
通讯作者： 山本兼司
アルコールCVD法による単層/多層グラフェン成長
酒精CVD法单层/多层石墨烯生长
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [宮坂悠太, 松山明弘, 野木努, 中村篤志, 天明二郎]
通讯作者： 天明二郎
Schottky barrier contacts formed on polar-, nonpolar-Mg_xZn_<1-x>O film grown by remote-plasma-enhanced MOCVD
在远程等离子体增强 MOCVD 生长的极性、非极性 Mg_xZn_<1-x>O 薄膜上形成肖特基势垒接触
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [A.Nakamura, H.Hierro, E.Munoz, J Temmyo]
通讯作者： J Temmyo
共 55 条
    ZnO-based semiconductor nanostructures for optical quantum devices
    • 批准号：
      17310070
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.81万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      TEMMYO Jiro
    • 依托单位：
      Shizuoka University
    海外基金