Research on three dimensional wiring by 3-D patterning and vertical shape forming technologies.
通过3D图案化和垂直成形技术进行三维布线的研究。
基本信息
- 批准号:20360116
- 负责人:
- 金额:$ 12.23万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2008
- 资助国家:日本
- 起止时间:2008 至 2010
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
The spray coating and inclined UV light exposure technologies were examined to realize the three dimensional wiring pattern. Also, electroplating condition was examined to form the wiring. The technologies were applied to the Chip on Glass optical module. The resistance of the wiring is 0.1~0.2Ω, and also reliability was good. As the result, these technologies can be applicable to the three dimensional wiring. Further, the high aspect ratio vertical Si shape could be formed by the unisotropic wet etching.
采用喷涂和倾斜紫外光曝光技术实现了三维布线图案。此外,检查电镀条件以形成布线。并将这些技术应用于玻璃覆晶光学组件中。布线电阻为0.1~0.2Ω,可靠性好。因此,这些技术可以应用于三维布线。此外,可以通过各向异性湿法蚀刻形成高纵横比垂直Si形状。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Conductive pattern forming method on vertical wall using spray coating and angled exposure technologies
利用喷涂和成角度曝光技术在垂直壁上形成导电图案的方法
- DOI:
- 发表时间:2008
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Hiroki Morii;Fumikazu Oohira;Minoru Sasaki;Toshihiko Ochi;Asumi Yuzuriha;Katsuhito Wani
- 通讯作者:Katsuhito Wani
スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化
喷涂气流分析及均匀膜厚分布
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:S.Nomura;S.Mukasa;H.Toyota,M.Kageura;Shigeki Matsuo;清水裕亮;佐々木実
- 通讯作者:佐々木実
Application of micro-nano technologies for optical and biological fields
微纳技术在光学和生物领域的应用
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:松尾繁樹;他;大平文和
- 通讯作者:大平文和
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Development of high-functional optical and biological devices by ultra precise micro dies.
利用超精密微型模具开发高功能光学和生物器件。
- 批准号:
16310100 - 财政年份:2004
- 资助金额:
$ 12.23万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
A compact optical cross-connect system using piezo-electric micro actuators.
使用压电微型执行器的紧凑型光学交叉连接系统。
- 批准号:
13450105 - 财政年份:2001
- 资助金额:
$ 12.23万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)