课题基金 / 基金详情

Studies on spectroscopic ellipsometry using GaP terahertz signal generator and its application for accurate measurement of film thickness

Studies on spectroscopic ellipsometry using GaP terahertz signal generator and its application for accurate measurement of film thickness
GaP太赫兹信号发生器光谱椭偏仪研究及其在薄膜厚度精确测量中的应用
批准号：
20560026
负责人：
SASAKI Tetsuo
金额：
$3.0万
依托单位：
Tokyo Metropolitan University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2008
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2008 至 2010
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560026/
关键词：
テラヘルツ反射分光複屈折率複素屈折率エリプソメトリー

项目摘要

项目成果

SASAKI Tetsuo的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
Terahertz spectroscopic ellipsometer was realized using GaP terahertz signal generator as a light source. We started to obtain complex indices of refraction for organic crystals and semiconductor crystals. Dynamic range for thickness measurement system was improved according to frequency resolution improvement of terahertz signal generator.
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
有機分子性伝導体結晶のテラヘルツ分光分析
有机分子导体晶体的太赫兹光谱分析
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [中山利紀, 丸泉琢也, 大橋隆宏,丹野剛紀,田邉匡生,佐々木哲朗,小山裕,西澤潤一]
通讯作者： 大橋隆宏,丹野剛紀,田邉匡生,佐々木哲朗,小山裕,西澤潤一
(Invited)GaP Terahertz signal generator and its applications for spectral monitoring of dynamic reaction
(特邀)GaP太赫兹信号发生器及其在动态反应光谱监测中的应用
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [田邉匡生, 佐々木哲朗, 西澤潤一, 小山裕]
通讯作者： 小山裕
(Invited)Development of Laser and High Resolution Terahertz Signal Generator for Precise Terahertz Spectroscopy
（特邀）用于精密太赫兹光谱的激光和高分辨率太赫兹信号发生器的开发
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [西澤潤一, 佐々木哲朗]
通讯作者： 佐々木哲朗
(Invited)High resolution terahertz spectroscopy for defect detection
(特邀)用于缺陷检测的高分辨率太赫兹光谱
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [佐々木哲朗, 西澤潤一, 田邉匡生]
通讯作者： 田邉匡生
共 11 条
    In-situ monitoring of crystal growth and deliquescence by laser spectroscopy
    • 批准号：
      24550214
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.58万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      SASAKI Tetsuo
    • 依托单位：
      Shizuoka University
    Abnormalities of T lymphocyte subsets in systemic sclerosis and analyses of the inducing cytokines
    • 批准号：
      09670891
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C).
    • 资助金额：
      $0.77万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      SASAKI Tetsuo
    • 依托单位：
      Yokohama City University
    海外基金