Studies on spectroscopic ellipsometry using GaP terahertz signal generator and its application for accurate measurement of film thickness

GaP太赫兹信号发生器光谱椭偏仪研究及其在薄膜厚度精确测量中的应用

基本信息

  • 批准号：
    20560026
  • 负责人：
    SASAKI Tetsuo
  • 金额：
    $ 3万
  • 依托单位：
    Tokyo Metropolitan University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份：
    2008
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2008 至 2010
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

Terahertz spectroscopic ellipsometer was realized using GaP terahertz signal generator as a light source. We started to obtain complex indices of refraction for organic crystals and semiconductor crystals. Dynamic range for thickness measurement system was improved according to frequency resolution improvement of terahertz signal generator.
以GaP太赫兹信号发生器为光源，实现了太赫兹光谱椭偏仪。我们开始获得有机晶体和半导体晶体的复折射率。根据太赫兹信号发生器频率分辨率的提高，改进了厚度测量系统的动态范围。

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
有機分子性伝導体結晶のテラヘルツ分光分析
有机分子导体晶体的太赫兹光谱分析
  • DOI：
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    中山利紀;丸泉琢也;大橋隆宏,丹野剛紀,田邉匡生,佐々木哲朗,小山裕,西澤潤一
  • 通讯作者：
    大橋隆宏,丹野剛紀,田邉匡生,佐々木哲朗,小山裕,西澤潤一
(Invited)GaP Terahertz signal generator and its applications for spectral monitoring of dynamic reaction
(特邀)GaP太赫兹信号发生器及其在动态反应光谱监测中的应用
  • DOI：
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    田邉匡生;佐々木哲朗;西澤潤一;小山裕
  • 通讯作者：
    小山裕
(Invited)Development of Laser and High Resolution Terahertz Signal Generator for Precise Terahertz Spectroscopy
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    西澤潤一;佐々木哲朗
  • 通讯作者：
    佐々木哲朗
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    佐々木哲朗;西澤潤一;田邉匡生
  • 通讯作者：
    田邉匡生
Terahertz Signal Generator and its Application for Life Science and Material Science
太赫兹信号发生器及其在生命科学和材料科学中的应用
  • DOI：
  • 发表时间：
    2008
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    J.Nishizawa;T.Sasaki
  • 通讯作者：
    T.Sasaki
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