Study on high resolution inchworm-type multi-DOF actuator and precise position measurement

高分辨率尺蠖式多自由度执行器及精密位置测量研究

• 批准号: 20560245
• 负责人: TORII Akihiro
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Aichi Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20560245/
• 关键词: インチワーム; 超精密位置決め; 超精密位置計測; 圧電素子; 位置計測素子; アクチュエータ; 知能ロボティクス; 超精密計測; 精密位置決め

An inchworm-type actuator, which was operated by the adhesion of electromagnets and deformation of piezoelectric elements, was developed. Flexible motion could be realized by six combined piezoelectric elements. Six-DOF motion was realized by the principle of a parallel mechanism and three-DOF displacement was realized by the principle of an inchworm. The position of the actuator was measured by the use of laser light sources and position sensitive detectors, which were installed on the actuator. The position was measured by the position of the light sources and the output of the detectors. The accuracy was about a few microns.

研制了一种利用电磁铁的附着力和压电元件的变形来驱动的尺蠖式驱动器。通过六个压电元件的组合，可以实现柔性运动。利用并联机构原理实现六自由度运动，利用尺蠖原理实现三自由度位移。通过使用安装在致动器上的激光光源和位置敏感检测器来测量致动器的位置。通过光源的位置和检测器的输出来测量位置。精度大约是几微米。

项目成果

A microactuator based on an inchworm with friction control device

一种基于尺蠖的摩擦控制装置微执行器

• 发表时间: 2009
• 作者: A.Torii;他
• 通讯作者: 他

インチワーム型多自由度マイクロアクチュエータの粗動特性

尺蠖式多自由度微执行机构的粗动特性

• 发表时间: 2009
• 作者: 鳥井昭宏;坂野正昭;植田明照
• 通讯作者: 植田明照

鉛直振動による浮上を用いたインチワーム型移動機構

利用垂直振动悬浮的尺蠖式运动机构

• 发表时间: 2010
• 期刊: 電気学会論文誌C 130巻
• 作者: 鳥井昭宏;見學知史;山田智弘;植田明照;道木加絵
• 通讯作者: 道木加絵

圧電素子の高周波振動による摩擦力制御機構を用いたマイクロロボット

利用压电元件高频振动的摩擦力控制机构的微型机器人

• 发表时间: 2010
• 作者: 見學知史;他
• 通讯作者: 他

圧電素子を用いたスチュワートプラットフォーム形自走マイクロロボットの諸特性

采用压电元件的Stewart平台型自走微型机器人的特点

• 发表时间: 2009
• 作者: 坂野正昭;鳥井昭宏;植田明照
• 通讯作者: 植田明照