High-Speed Defect Measurement of Next-Generation Semiconductor Wafer Using Active Control of Evanescent Light

利用倏逝光主动控制对下一代半导体晶圆进行高速缺陷测量

• 批准号: 20569001
• 负责人: USUKI Shin
• 金额: $ 2.45万
• 依托单位: Shizuoka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20569001/
• 关键词: 複数画像再構成; 定在エバネッセント照明; 空間変調照明; エバネッセント光; 欠陥計測; 超解像; ナノ計測; 半導体表面計測; 複数画像再構成演算

First of all, the experimental apparatus was developed for fundamental verifications in generating and control of standing evanescent illumination, and in super-resolution microscopy based on multiple-image iterative reconstruction. As a result of experiments using scattered light imaging of discrete specimen, basic principles of the proposed method was confirmed. Furthermore, numerical simulations were performed to investigate the relationship between pixel size and resolving power in the proposed microscopic imaging technique. It was found that nano-scale displacements of standing evanescent illumination possibly provided us sub-pixel resolution (sub-pixel spatial sampling). Related works of this research were proposals and efficacy analyses of resolution improvement technique based on active shift of imaging path and wide-field three dimensional structured illumination generation technique using multiple-beam interference.

首先，实验装置的开发，在产生和控制的基础上验证立场倏逝照明，并在超分辨率显微镜的基础上的多图像迭代重建。通过离散样品的散射光成像实验，验证了该方法的基本原理。此外，数值模拟进行了研究像素大小和分辨率之间的关系，在建议的显微成像技术。据发现，纳米尺度的位移的常设倏逝照明可能提供给我们亚像素分辨率（亚像素空间采样）。本研究的相关工作包括基于成像光路主动移位的分辨率提高技术和基于多光束干涉的宽视场三维结构照明产生技术的提出和效果分析。

项目成果

Multiple image reconstruction for high-resolution optical imaging using structured illumination

使用结构照明进行高分辨率光学成像的多图像重建

• 发表时间: 2010
• 作者: Kitajima;S.;Kamei;K.;Taketani;S.;Yamaguchi;M.;Kawai;F.;Komatsu;A.;Inukai;Y;臼杵深
• 通讯作者: 臼杵深

静岡大学若手グローバル研究リーダー育成拠点

静冈大学全球青年研究领袖培训中心

Resolution Improvement of Optical Imaging by Spatial Control of Light and Multi-Image Reconstruction

通过光的空间控制和多图像重建来提高光学成像的分辨率

• 发表时间: 2011
• 作者: Ichikawa;A.;Yamada;A.;Sakamoto;H.;Umehara;M.;Yoshioka;Y.;Yamaguchi;M.;Ikura;K.;臼杵深
• 通讯作者: 臼杵深

定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究

利用固定倏逝光的超分辨率显微镜研究

• 发表时间: 2008
• 作者: Kuraishi;T.;Nakagawa;Y.;Nagaosa;K.;Hashimoto;Y.;Ishimoto;T.;Moki;T.;Fujita;Y.;Nakayama;H.;Dohmae;N.;Shiratsuchi;A.;Yamamoto;N.;Ueda;K.;Yamaguchi;M.;Awasaki;T.;Nakanishi;Y.;臼杵深;臼杵深
• 通讯作者: 臼杵深

静岡大学Realistic Modeling Laboratory

静冈大学现实建模实验室