SEM and TEM investigation of material ablation and redeposition mechanisms induced by pulsed laser drilling

脉冲激光钻孔引起的材料烧蚀和再沉积机制的 SEM 和 TEM 研究

• 批准号: 5375278
• 负责人: Dr. Arnhold Luft
• 金额: --
• 依托单位: Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5375278?language=en
• 关键词: SEM; TEM; investigation; material; ablation

Der industrielle Einsatz von Laserbearbeitungsverfahren zur Herstellung von Bohrungen mit kleinem Durchmesser und hohem Aspektverhältnis wird erschwert, weil die hohen Anforderungen, die an die geometrische Präzision der Bohrungen, die Qualität der Lochwand sowie an die Effizienz und Sicherheit des Bearbeitungsprozesses gestellt werden, gegenwärtig noch nicht zu erfüllen sind. Zur Überwindung der bestehenden Hemmnisse ist ein tieferes Verständnis der die Qualität und Effektivität bestimmenden Mechanismen notwendig. Das Ziel des Vorhabens besteht darin, die beim Laserbohren unterschiedlicher Werkstoffe wirksamen Mechanismen des Materialabtrages und -austriebes sowie der Materialredeposition aufzuklären. Ein besonderer Schwerpunkt liegt dabei in der Identifizierung der Wirkfaktoren, die mit der Bildung, Verdrängung und Wiederanlagerung der schmelzflüssigen Phase im Zusammenhang stehen. Der Zugang zu diesen weitgehend im Verborgenen ablaufenden Prozessen soll durch eine detaillierte und systematische Charakterisierung einerseits der Randschichten der mit unterschiedlichen Laser- und Verfahrensparametern erzeugten Bohrungen und andererseits des dabei ausgetriebenen Materials unter Einsatz spezieller Präparationstechniken und hochauflösender strukturanalytischer Methoden erfolgen. Auf diese Weise soll unter spezieller Berücksichtigung werkstoffwissenschaftlicher Aspekte erkundet werden, welche laser- und verfahrensspezifische Einflussfaktoren den Übergang vom schmelzdominierten zum schmelzarmen Abtrag beim Bohren mit kurzgepulster Laserstrahlung bestimmen.

Der industrielle Einsatz von Laserbearbeitungsverfahren zur Herstellung von Bohrungen mit kleinem Durchmesser and hohem Aspektverhältnis wird erschwert, weil die hohen Anforderungen, die an die 几何 Präzision der Bohrungen, die Qualität der Lochwand sowie and die Effizienz und Sicherheit des Bearbeitungsprozesses gestellt werden，gegenwärtig noch nicht zu erfüllen sind。最好的Hemmnisse 的上风是与最好的质量和效果有关的，而不是机制。 Das Ziel des Vorhabens besteht darin, die beim Laserbohren unterschiedlicher Werkstoffe wirksamen des Materialabtraages and austriebes sowie der Materialredeposition aufzuklären.在产品识别、教育、发展和发展阶段中，重要的是要考虑到这一点。 Der Zugang zu diesen weitgehend im Verborgenen ablaufenden Prozessen soll durch eineDetaillierte and systematische Charakterisierung einerseits der mit unterschiedlichen Laser- and Verfahrensparametern erzeugten Bohrungen und andererseits des dabei ausgetriebenen Materials Unter Einsatz Spezieller Präparationstechniken 和 Hochauflösender Strukturanalytischer Methoden erfolgen。 Auf diese Weise soll under spezieller Berücksichtigung werkstoffwissenschaftlicher Aspekte erkundet werden, welche Laser- und verfahrensspezifische Einflussfaktoren den Übergang vom schmelzdominierten zum schmelzarmen Abtrag beim Bohren mit kurzgepulster 激光照射最佳。