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Study on highly efficient laser-plasma light source and its applications for microfabrication and textural control of materials

高效激光等离子体光源及其在材料微细加工和织构控制中的应用研究

基本信息

批准号：
21560752
负责人：
MOCHIZUKI Takayasu
金额：
$ 2.91万
依托单位：
University of Hyogo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2011
项目状态：
已结题

项目摘要

Plasma expansions on micro-balloon lithium targets irradiated with coaxial double pulses and counter-streamed simultaneous two-pulses were observed by a time-resolved EUV camera. The counter-streamed pulses were confirmed to be more effective for uniform heating of the target. A soft X-ray conversion efficiency in a wavelength range of 5-17 nm in a cryogenic xenon rotating target was 25%/2πsr at the maximum. An attenuation coefficient of sputtering by the debris and an absorption coefficient of soft x-rays at 13.5 nm by argon gas were derived to be 2.2×10^<20> m^2 and 1.8×10^<-22> m^2, respectively. The attenuation coefficient of sputtering is concluded to be equivalent to the effective collision cross section. These parameters provide a useful design tool for realizing a practical soft x-ray source.

利用时间分辨极紫外相机观测了同轴双脉冲和逆流双脉冲同时辐照微球锂靶的等离子体膨胀。逆流脉冲被证实是更有效的均匀加热的目标。在5-17 nm波长范围内，低温氙旋转靶的软X射线转换效率最高可达25%/2πsr。碎片溅射的衰减系数和氩气对13.5 nm软X射线的吸收系数分别为2.2×10^<20>m^2和1.8×10^<-22>m^2。溅射衰减系数与有效碰撞截面等效。这些参数提供了一个有用的设计工具，实现一个实用的软X射线源。

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

プラズマデブリ耐久X線ミラーの研究

等离子体碎片耐用X射线镜研究

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
0
作者：
天野壮;井上智章;脇坂勇輝;原田哲男
通讯作者：
原田哲男

Influence of Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation on Crystallization of a-Si Film by Infrared Annealing

激光等离子体软X射线照射对非晶硅薄膜红外退火晶化的影响

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
Material Transactions
影响因子：
0
作者：
Naoto Matsuo;Nobuya Isoda;Akira Heya;Sho Amano;Shuji Miyamoto;Takayasu Mochizuki;and Naoya Kawamoto
通讯作者：
and Naoya Kawamoto

Influence of Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation on Crystallixation of a-Si Film by Infrared Annealing

激光等离子体软X射线照射对非晶硅薄膜红外退火晶化的影响

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
Material Transactions
影响因子：
0
作者：
Naoto Matsuo;Nobuya Isoda;Akira Heya;Sho Amano;Shuji Miyamoto;Takayasu Mochizuki;Naoya Kawamoto
通讯作者：
Naoya Kawamoto

Soft x-ray conversion efficiencies in laser-produced xenon and tin plasmas in a 5-17-nm wavelength range

激光产生的氙和锡等离子体在 5-17 nm 波长范围内的软 X 射线转换效率

DOI：
10.1143/jjap.50.098001
发表时间：
2011
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Tomoaki Inoue;Takayasu Mochizuki;Shuji Miyamoto;Sho Amano and Takeo Watanabe
通讯作者：
Sho Amano and Takeo Watanabe

アルゴンバッファによるプラズマデブリ抑制

使用氩气缓冲液抑制等离子体碎片