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液相レーザープロセスにより調製したナノペーストを利用したマイクロパターン作製

使用液相激光工艺制备的纳米膏制造微图案

基本信息

批准号：
09F09508
负责人：
越崎直人
金额：
$ 1.34万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至 2010
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では、今後ますます重要性が増してくるミクロン以下の精度の室温・大気圧環境下でのリソグラフィーを使わない直接パターン形成技術の開発を目指した研究に取り組んできた。外国人特別研究員が、これまで取り組んできたレーザーマイクロクラッディング法では、従来法と比較して、パターン精度や生成速度でメリットがある。本手法による更なるパターン精度向上には、ペースト中に含まれる原料粒子のサイズが最も重要な要素であり、現状の数μm以下の粒子が入ったペーストのナノサイズ分散粒子化が喫緊の課題であった。そこで、受入研究者のグループで開発してきた液相レーザーアブレーション法(液相中に設置した、固体あるいは粉体ターゲットにレーザー光を照射してナノ粒子を生成させる手法)に取り組み、ナノペーストとして期待される安定化剤フリーの金ナノ粒子などのナノペースト作製に必要となる技術を検討してきた。その結果、Au、Ag、Cu、Ptなどの貴金属やCなどのナノペーストの作製が可能であることはわかってきたが、その過程で、炭素のナノ粒子が蛍光特性を示すことが明らかになってきた。その基本特性を明らかにするとともに、その最適化を図った。また、シリコンのサブミクロンサイズ球状粒子を生成する手法を新規に見いだした。これについては、その応用展開を図るために必要となる、大量合成法についても検討し、実用的な量の作成が可能であることがわかった。

This study is of increasing importance in the future. It is aimed at developing a new technology for the direct formation of carbon dioxide under room temperature and high pressure conditions. Special Researcher for Foreigners This method is aimed at improving the accuracy of the particles, including the most important elements of the particles, and the particles below the number of microns. In this paper, the author discusses the technology of the liquid-phase solution method (the method of setting up the solid phase solution, the method of irradiating the solid phase solution with light, and the method of generating the solid phase solution), the method of selecting the composition solution, the method of selecting the stable phase solution, and the method of preparing the solid phase solution. As a result, Au, Ag, Cu, Pt and other noble metals and C particles can be produced in the same way as carbon particles. The basic characteristics of the system are: A new method for generating spherical particles is proposed. For example, if you want to use a large amount of synthesis, you can use it to make a large amount of synthesis.