Structure optimization of a field emitter with a built-in micro electrostatic lens

内置微静电透镜场发射体的结构优化

• 批准号: 21310083
• 负责人: NAGAO Masayoshi
• 金额: $ 12.48万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21310083/
• 关键词: マイクロファブリケーション; マイクロ・ナノデバイス; 電界放出; 静電レンズ; 電子顕微鏡; 電子ビームリソグラフィー

We proposed a field emitter with a built-in micro electrostatic lens, in which micron-sizsed field emitter and multi-stacked electrostatic lens are integrated on a silicon substrate, in order to achieve a tiny scanning electron microscope. We optimized and established the fabrication process by using ion irradiation technique, and so on. We also proposed new wehnelt electrode for obtaining strongly focused electron beam.

提出了一种内置微静电透镜的场发射体，将微尺寸场发射体和多层静电透镜集成在硅衬底上，实现了微型扫描电子显微镜。利用离子辐照等技术优化和建立了制备工艺，并提出了获得强聚焦电子束的新型维纳电极。

项目成果

静電レンズ一体型フィールドエミッタの作製方法の改良

静电透镜集成场发射体制造方法的改进

• 发表时间: 2011
• 作者: 長尾昌善;吉田知也;西孝;神田信子;小池昭史;根尾洋一郎;三村秀典
• 通讯作者: 三村秀典

静電レンズ一体型フィールドエミッタの作製II

静电透镜集成场发射体的制作II

• 发表时间: 2011
• 作者: 長尾昌善;吉田知也;西孝;神田信子;小池昭史;根尾洋一郎;三村秀典
• 通讯作者: 三村秀典

静電レンズ一体型フィールドエミッタの作製

与静电透镜集成的场发射器的制作

• 发表时间: 2010
• 作者: 西尾陽太郎;石川弘一郎;黒田眞司;三留正則;坂東義雄;戸嶋直樹;長尾昌善
• 通讯作者: 長尾昌善

マイクロレンズ一体型フィールドエミッタの作製

微透镜集成场发射器的制造

• 发表时间: 2010
• 作者: Y. Nishio;K. Ishikawa;S. Kuroda;M. Mitome;Y. Bando;Tetsuya Mukai;岡嶋孝治;長尾昌善
• 通讯作者: 長尾昌善

Design of an Electrostatics Lens of the Micro-Column Microscopes usinga Multi-Gated FEA

使用多门有限元分析的微柱显微镜静电透镜设计

• 发表时间: 2011
• 期刊: Advanced Materials Research
• 作者: 小池昭史;高木康男;藤野高弘;青木徹;根尾陽一郎;三村秀典;吉田知也;長尾昌善;酒井健太郎;村田英一
• 通讯作者: 村田英一