Self-assembly of fine particles using combination of dispenser and stage control

使用分配器和阶段控制的组合进行细颗粒的自组装

• 批准号: 21360065
• 负责人: MORONUKI Nobuyuki
• 金额: $ 12.31万
• 依托单位: Tokyo Metropolitan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360065/
• 关键词: ディスペンサ; 微粒子; 自己整列; 制御; 位置決め; 研磨工具; 転写

Self-assembly of fine particles is one of the potential processes for nano-/microstructuring. It has versatility because it can be used as etching mask as well as functional devices. However, traditional dip-coating has limitation of both of substrate size and particle size. This study proposes a new process which utilizes a combination of dispenser and motored stage. Applying control of dispenser and stage, various particles were assembled on a substrate along arbitrary pattern without any mask. Then, fixation of the particles was discussed where the particles were transferred to another substrate using UV curing resin. In this process, the structure becomes upside-down and the top particles aligned at same height. Thus, an application to polishing tool was also discussed.

微细粒子的自组装是纳米/微米结构化的潜在过程之一。它具有通用性，因为它可以用作蚀刻掩模以及功能器件。然而，传统的浸涂工艺受到基材尺寸和颗粒尺寸的限制。本研究提出了一种新的工艺，它利用了分配器和电动阶段的组合。应用分配器和载物台的控制，在没有任何掩模的情况下，沿着沿着任意图案将各种颗粒组装在衬底上。然后，讨论了颗粒的固定，其中使用UV固化树脂将颗粒转移到另一个基板上。在这个过程中，结构变得颠倒，顶部颗粒在同一高度对齐。并讨论了其在抛光工具中的应用。

项目成果

Instability Phenomenon in Dip-Coating Process for Self-Assembly of Fine Particles and Design Countermeasures

细颗粒自组装浸涂过程中的不稳定现象及设计对策

• 发表时间: 2011
• 期刊: Int.J.of Automation Technology
• 作者: M.Nishio;N.Moronuki;A.Kaneko
• 通讯作者: A.Kaneko

Patterned Self-assembly of Fine Particles by the Combination of Dispenser and Positioning Stage

通过分配器和定位台的组合实现细颗粒的图案化自组装

• 发表时间: 2010
• 作者: N. Moronuki;K. Takada;W. R. Zhang;A. Kaneko
• 通讯作者: A. Kaneko

微小液滴の接触角ヒステリシス測定と表面微細構造の影響

微滴接触角滞后测量及表面微观结构的影响

• 发表时间: 2010
• 作者: 諸貫;ショッテン
• 通讯作者: ショッテン

微粒子の自己整列と研磨工具への応用

细颗粒的自排列及其在抛光工具中的应用

• 发表时间: 2010
• 作者: Akihiko Fujii;Hitoshi Suzuki;Kazuhisa Yanali;諸貫信行,張文儒
• 通讯作者: 諸貫信行,張文儒

インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写

使用压印的自对准颗粒的材料转移/形状转移

• 发表时间: 2010
• 作者: 伊東宏季;池野順一;松尾利香;国司洋介;鈴木秀樹;成田行人,諸貫信行,田中靖紘,金子新
• 通讯作者: 成田行人,諸貫信行,田中靖紘,金子新