Development and application of Nano-ion exchange lithography

纳米离子交换光刻技术的发展及应用

• 批准号: 21360320
• 负责人: YANO Tetsuji
• 金额: $ 11.65万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360320/
• 关键词: イオン交換; ガラス; リソグラフィ; Ag細線

Nano-ion-exchange lithography(NIEL) has been developed for the fabrication of nanometer-size structure with different refractive index in/or on the transparent glass substrate. A new glass composition suitable for NIEL has also been developed to give appropriate ionic conductivities of monovalent ions at certain elevated temperature, and multi-ion-exchanged layer has also developed ; a thin NH^+_4 containing and alkali-free layer with Ag^+ containing core layer underneath. The developed NIEL succeeded in the drawing nano-lines on glass ; thin Ag metal lines with 270nm width. This enables to develop new devices using "metamaterials".

纳米离子交换光刻（NIEL）是一种在透明玻璃衬底上制备具有不同折射率的纳米结构的技术。我们还开发了一种新的适用于NIEL的玻璃成分，使单价离子在一定的高温下具有适当的离子电导率，并开发了多离子交换层;一层薄的含NH 4 ^+的无碱金属层，下面是含Ag^+的芯层。研制的NIEL成功地在玻璃上绘制出了纳米线;宽度为270 nm的薄Ag金属线。这使得能够开发使用“超材料”的新设备。

项目成果

Photoionization of protonion-exchanged glass doped with Tb_4O_7

Tb_4O_7掺杂质子交换玻璃的光电离

• 发表时间: 2011
• 作者: Chikashi Tanaka;Tetsuji Yano;Tetsuo Kishi;Shuichi Shibata
• 通讯作者: Shuichi Shibata

Photoionization of Proton Ion-Exchanged Glass Doped with Tb_4O_7

Tb_4O_7掺杂质子离子交换玻璃的光电离

• 发表时间: 2011
• 作者: 田中智佳士、矢野哲司;ほか
• 通讯作者: ほか

Fabrication of buried-type waveguide with optical gates by nano ion-exchange method

纳米离子交换法制备埋入式光闸波导

• 发表时间: 2010
• 期刊: Proc.SPIE 7604
• 作者: T.Yano;E.Shokatsu;H.Segawa;S.Shibata
• 通讯作者: S.Shibata

ガラスのイオン交換反応の基礎と応用

玻璃中离子交换反应的基础和应用

• 发表时间: 2012
• 作者: 町屋修太郎;長村光造;鈴木裕士;ハルヨステファヌス;伊藤崇芳;土屋佳則;矢野哲司
• 通讯作者: 矢野哲司

Li^+/H^+ Ion-Exchanged Li_2O-BaO-La_2O_3-TiO_2-SiO_2 Glass Doped with Er^<3+> Ions

掺杂Er^<3>离子的Li^ /H^离子交换Li_2O-BaO-La_2O_3-TiO_2-SiO_2玻璃

• 发表时间: 2009
• 作者: Ryo Yamaguchi;Tetsuji Yano;Hiroyo Segawa;Shuichi Shibata
• 通讯作者: Shuichi Shibata