The study of fundamental processes of EUV laser ablation and the application toward mask-free nano-fabrication
The study of fundamental processes of EUV laser ablation and the application toward mask-free nano-fabrication
EUV激光烧蚀基本工艺研究及其在无掩模纳米加工中的应用
批准号：
21360364
负责人：
KAWACHI Tetsuya
金额：
$6.49万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2009
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2009 至 2011
中文摘要
翻译
我们已经定量研究了EUV激光的能量通量和物质的烧蚀阈值之间的关系，并开发了使用EUV激光进行纳米加工的关键技术。我们还研究了提高极紫外激光功率和扩大波长范围的方法。
英文摘要
We have quantitatively investigated the relation between the energy fluence of the EUV laser and the ablation threshold of substances and have developed key technologies toward nano-fabrication using EUV laser. We also investigated the method to increase the EUV laser power and to expand the wavelength range to shorter wavelength region.
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Propagation-based phase-contrast enhancement of nanostructure images using a debris-free femtosecond-laser-driven cluster-based plasma soft x-rav source and a LiF crystal detector
使用无碎片飞秒激光驱动的基于簇的等离子体软 x 射线源和 LiF 晶体探测器对纳米结构图像进行基于传播的相衬增强
使用无碎片飞秒激光驱动的基于簇的等离子体软 x 射线源和 LiF 晶体探测器对纳米结构图像进行基于传播的相衬增强
DOI：
--
发表时间：
2009
期刊：
Applied Optics 48
影响因子：
--
作者：
[T.Pikuz, et al.]
通讯作者：
et al.
Source development and novel applications of laser-driven plasma X-raylasers in JAEA
JAEA 激光驱动等离子体 X 射线激光器的源开发和新颖应用
JAEA 激光驱动等离子体 X 射线激光器的源开发和新颖应用
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
作者：
[T. Kawachi, N. Hasegawa, M. Nishikino, M. Ishino, T. Imazono, 他18名]
通讯作者：
他18名
Nanoscale surface modifications and formation of conical structures at aluminum surface induced by single shot exposure of soft x-ray laser pulse
软 X 射线激光脉冲单次曝光诱导铝表面纳米级表面改性和锥形结构形成
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DOI：
10.1063/1.3525980
发表时间：
2011
期刊：
J. Appl. Phys
影响因子：
--
作者：
[M. Ishino, A. Faenov, M. Tanaka, N. Hasegawa, M. Nishikino, S. Tamotsu, T. A. Pikuz, N. A. Inogamov, V. V. Zhakhovsky, I. Yu. Skobelev, V. E. Fortov, V. A. Khohlov, V. V. Shepelev, T. Ohba, T. Kaihori, Y. Ochi, T. Imazono, T. Kawachi]
通讯作者：
T. Kawachi
Low threshold ablation of dielectrics irradiated by pico-second soft x-ray laser pulses
皮秒软 X 射线激光脉冲照射电介质的低阈值烧蚀
皮秒软 X 射线激光脉冲照射电介质的低阈值烧蚀
DOI：
10.1063/1.3152290
发表时间：
2009
期刊：
Appl. Phys. Lett
影响因子：
--
作者：
[A. Y. Faenov, N. Inogamov, V. Zhakhovskii, V. Khokhlov, K. Nishihara, Y. Kato, M. Tanaka, T. Pikuz, M. Nishikino, M. Ishino, T. Nakamura, Y. Fukuda, S. Bulanov and T. Kawachi]
通讯作者：
S. Bulanov and T. Kawachi
Development and application of plasma x-ray lasers
等离子X射线激光器的研制及应用
等离子X射线激光器的研制及应用
DOI：
--
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
作者：
[M.Nishikino, et al.]
通讯作者：
et al.
共 23 条
Investigation of the basic processes for the development of the target required for the local heating of plasma.
-
批准号：17540476
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$1.54万
-
财政年份：2005
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负责人：KAWACHI Tetsuya
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依托单位：
海外基金