Development of oriented piezoelectric films for ultrasonic imaging at ultra high frequency

超高频超声成像用定向压电薄膜的开发

• 批准号: 21700503
• 负责人: ISHIKAWA Mutsuo
• 金额: $ 2.91万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21700503/
• 关键词: 超音波医科学; 圧電; 超音波トランスデューサ; KNbO_3; 水熱合成法; スパッタリング法; SrRuO_3; 圧電性結晶膜; 圧電定数; 製膜; 超音波; トランスデューサ; プローブ; アレイ; 高周波

The epitaxially-grown piezoelectric films were successfully obtained on the substrates by the spattering method and hydrothermal method. The clear hysteresis loops originated from the ferroelectricity and the piezoelectricity were observed. Moreover, fabricated ultrasonic transducer with the developed piezoelectric films was able to the ultrasonic transmit and receive over 100MHz with good S/N.

采用溅射法和水热法在基片上成功地外延生长了压电薄膜。观察到明显的铁电性和压电性引起的磁滞回线。利用所研制的压电薄膜制作的超声换能器，超声发射和接收频率可达100MHz以上，具有良好的信噪比。

项目成果

Djuth, Deposition of Nb-doped Lead Zirconate Titanate Films by Hydrothermal Method and Their Electrical Properties

Djuth，水热法沉积铌掺杂锆钛酸铅薄膜及其电性能

• 发表时间: 2010
• 作者: Mutsuo Ishikawa;Hamid Reza Chabok;Takeshi Morita;Shinichi Takeuchi;Minoru Kurosawa;Hiroshi Funakubo;Qifa Zhou;Kirk
• 通讯作者: Kirk

ペロブスカイト型酸化物膜及びそれを用いた強誘電体膜、強誘電体素子、ペロブスカイト型酸化物膜の製造方法

钙钛矿氧化物膜、使用其的铁电体膜、铁电元件以及钙钛矿氧化物膜的制造方法

• 发表时间: 2011

エピタキシャルKNbO3膜の水熱合成とアニールによる特性改善

水热合成及退火提高外延KNbO3薄膜性能

• 发表时间: 2010
• 作者: 榮西弘;石河睦生;山田智明;黒澤実;舟窪浩
• 通讯作者: 舟窪浩

Low temperature synthesis of epitaxaial KNbO3 thick films grown by hydrothermal Method PZT-BZT materials

水热法生长外延KNbO3厚膜PZT-BZT材料的低温合成

• 发表时间: 2010
• 作者: Mutsuo Ishikawa;Hiro Einishi;Tomohito Hasegawa;Takeshi Morita;Minoru Kurosawa;Hiroshi Funakubo
• 通讯作者: Hiroshi Funakubo

水熱合成法を用いた(K Na)NbO3エピタキシャル厚膜の合成と電気的および機械的特性評価

水热合成法合成(K Na)NbO3外延厚膜及电学和机械性能评价

• 发表时间: 2010
• 作者: 榮西弘;白石貴久;安井伸太郎;石河睦生;黒澤実;舟窪浩
• 通讯作者: 舟窪浩