Polymer surface morphology control by reactive ion etching and its application

反应离子刻蚀聚合物表面形貌控制及其应用

• 批准号: 22510132
• 负责人: NABESAWA Hirofumi
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Toyama Industrial Technology Center,
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22510132/
• 关键词: プラズマ加工; マイクロ・ナノデバイス; 反応性イオンエッチング; ポリマー; ポリマー微細加工; コロイダルリソグラフィー

n this study, we have developed the novel reactive ion etching (RIE) method to control polymer surface morphology in the wide range from smooth surface to grassy surface. It is found that the morphology is closely related to micromask concentration. Then, micro/nano array structure was formed on the polymer surface by using a combination of the RIE and colloidal lithography (CL) to prepare ordered particle monolayer as etching mask. Finally, a nanocone array structure on a PMMA was applied to protein chip, and the structure was effective for protein detection because of its large surface area.

在这项研究中，我们开发了一种新的反应离子刻蚀（RIE）方法，以控制聚合物的表面形貌在很宽的范围内，从光滑的表面到草状表面。结果表明，微掩模浓度与薄膜的形貌密切相关。然后，采用RIE和胶体光刻（CL）相结合的方法制备有序颗粒单层膜作为刻蚀掩模，在聚合物表面形成微纳阵列结构。最后，将PMMA上的纳米锥阵列结构应用于蛋白质芯片，由于其大的表面积，该结构可有效地用于蛋白质检测。

项目成果

マイクロ流体技術を用いた新規な化学反応・分離法の開発

利用微流控技术开发新的化学反应和分离方法

• 发表时间: 2012
• 作者: Yoshifumi Oshima and Yoshihiko Kurui;関実
• 通讯作者: 関実

コロイダルリソグラフィーによるポリマープレートの微細加工

胶体光刻聚合物板的微加工

• 发表时间: 2010
• 作者: 蛭間崇元;鍋澤浩文;人母岳;若林傑;関実
• 通讯作者: 関実

マイクロ流体システムにおける微量操作と分離法に関する研究

微流控系统中的显微操作与分离方法研究

• 发表时间: 2012
• 作者: Shinkai Y;Kumagai Y;Kimura T;Yamamoto C;Yamamoto M;Jinno H;Tanaka-Kagawa T;Kaji T;関実
• 通讯作者: 関実

バイオプロセス開発のためのマイクロシステムの利用

利用微系统进行生物工艺开发

• 发表时间: 2012
• 作者: Yoshifumi Oshima and Yoshihiko Kurui;関実;関実
• 通讯作者: 関実

コロイダルリソグラフィ一によるポリマープレートの微細加工

胶体光刻聚合物板的微加工

• 发表时间: 2010
• 作者: 蛭間崇元;鍋澤浩文;人母岳;若林傑;関実
• 通讯作者: 関実