Structure and fabrication process to apply shape memory polymers to MEMS actuators

将形状记忆聚合物应用于 MEMS 执行器的结构和制造工艺

• 批准号: 22560253
• 负责人: IMAI Satomitsu
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Nihon University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560253/
• 关键词: マイクロ; ナノメカトロニクス; 形状記憶ポリマー; アクチュエータ; MEMS; 2方向動作; 薄膜; ＭＥＭＳ; 駆動方法; ダイアフラム; 梁; ガラス転移点; 熱サイクル; ガラス遷移点; 熱駆動

A method to realize two-way behavior for a shape memory polymer actuator has been proposed. Two kinds of SMPs with different glass transition temperatures are used. The memory shape appears at the lower Tg, and then this memory shape is canceled by the other memory shape generated at the higher Tg. We confirmed the effectiveness ofthe proposed method experimentally.

已经提出了一种实现形状内存聚合物执行器的双向行为的方法。使用两种具有不同玻璃过渡温度的SMP。内存形状出现在较低的TG处，然后通过在较高TG处生成的其他内存形状来取消此内存形状。我们通过实验确认了所提出的方法的有效性。

项目成果

ガラス転移点温度の異なる2種類の形状記憶ポリマーを用いて変形・回復を行うアクチュエータ

使用两种具有不同玻璃化转变温度的形状记忆聚合物变形和恢复的致动器

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲;藤田壽憲;山本敏之;山本敏之;山本敏之;藤田壽憲;山本敏之;村木雄飛;村木雄飛;今井郷充;今井 郷充;今井郷充,櫻井航生;今井 郷充;今井 郷充
• 通讯作者: 今井 郷充

形状記憶ポリマーを用いたダイアフラム型アクチュエータの開発

使用形状记忆聚合物开发隔膜执行器

• 发表时间: 2010
• 作者: 今井郷充;今井郷充,櫻井航生,小島健三,田邉慶典
• 通讯作者: 今井郷充,櫻井航生,小島健三,田邉慶典

薄膜形状記憶ポリマーを用いた梁型MEMSアクチュエータの動作特性

使用薄膜形状记忆聚合物的梁式MEMS执行器的工作特性

• 发表时间: 2011
• 作者: 今井郷充

An actuator of two-way behavior by using two kinds of shape memory polymers with different Tgs

• DOI: 10.1016/j.precisioneng.2013.01.002
• 发表时间: 2013-07-01
• 期刊: PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
• 影响因子: 3.6
• 作者: Imai, Satomitsu;Sakurai, Kosei
• 通讯作者: Sakurai, Kosei

A MEMS actuator using two kinds of shape memory polymers to activate only by heating and cooling

使用两种形状记忆聚合物仅通过加热和冷却即可激活的 MEMS 执行器

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Takizawa;K.Kondo;K.Kondo;K.Kondo;嶋田陽;藤田壽憲;藤田壽憲;山本敏之;山本敏之;山本敏之;藤田壽憲;山本敏之;村木雄飛;村木雄飛;今井郷充;今井 郷充;今井郷充,櫻井航生;今井 郷充
• 通讯作者: 今井 郷充