Development of novel attosecond oxide multilayer mirrors at soft X-ray wavelengths fabricated by atomic layer epitaxy

开发原子层外延制造的软X射线波长新型阿秒氧化物多层镜

• 批准号: 23560041
• 负责人: KUMAGAI Hiroshi
• 金额: $ 3.49万
• 依托单位: Kitasato University (2012-2013)Osaka City University (2011)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560041/
• 关键词: 軟X線ミラー; 水の窓; アト秒; 軟Ｘ線光学素子; 酸化物; 原子層成長; アト秒ミラー

A new approach to the fabrication of attosecond soft X ray multilayer mirrors on an atomic scale at soft X ray wavelengths is proposed to overcome serious problems regarding scattering loss at the rough surface and interface of the multilayer.In this research project, novel approaches utilizing atomic layer epitaxy to the fabrication of ZnO/TiO2 oxide superlattice multilayer film mirror on a sapphire substrate for soft X ray wavelengths was studied. We demonstrated high reflectance and that phase could control soft X ray frequency precisely by a multiplex period in a window soft X ray domain of the so-called "water window" that ZnO/TiO2 oxide superstructure provided large frequency band.

针对多层膜粗糙面和界面的散射损耗问题，提出了一种在原子尺度上制备软X射线多层膜反射镜的新方法。在本研究项目中，研究了利用原子层外延技术在蓝宝石衬底上制备用于软X射线波长的氧化锌/二氧化钛超晶格多层膜反射镜的新方法。我们证明了该位相具有高的反射率，并且在所谓的“水窗口”的窗口软X射线域中，该位相可以通过多个周期精确地控制软X射线频率，而这正是氧化锌/二氧化钛氧化物超结构提供了很大的频带。

项目成果

二重共振型テラヘルツ波パラメトリック発振器におけるアイドラー波の波長可変特性

双谐振太赫兹波参量振荡器闲频波的波长可调特性

• 发表时间: 2012
• 期刊: 電気学会論文誌C
• 作者: 瀧田佑馬;大平達也;田所 譲;熊谷 寛;菜嶋茂喜
• 通讯作者: 菜嶋茂喜

逐次的表面化学反応法によるV_2O_3薄膜の作製

序贯表面化学反应法制备V_2O_3薄膜

• 发表时间: 2012
• 作者: 川上陽子;三條泰隆;村田雅樹;熊谷寛;小林中
• 通讯作者: 小林中

酸化物軟X線光学素子

氧化物软X射线光学元件

• 发表时间: 2012
• 作者: Y. Fujimoto;T. Yanagida;M. Yanagihara;S. Ono;K. FukudaY. Fujimoto;T. Yanagida;M. Yanagihara;S. Ono;K. Fukuda;熊谷寛
• 通讯作者: 熊谷寛

Temporal profiles of picosecond terahertz-wave pulses from arrayed Si-prism-coupled MgO:LiNbO3 parametric oscillator

阵列硅棱镜耦合 MgO:LiNbO3 参量振荡器产生的皮秒太赫兹波脉冲的时间分布

• 发表时间: 2012
• 作者: Y. Tadokoro;Y. Takida;T. Ohira;H. Kumagai;and S. Nashima
• 通讯作者: and S. Nashima

Novel beam splitter for high-order harmonics with WO3/TiO2 bilayer grown on c-plane sapphire substrate by sequential surface chemical reactions

通过顺序表面化学反应在 c 面蓝宝石衬底上生长 WO3/TiO2 双层的新型高次谐波分束器

• 发表时间: 2012
• 作者: Y. Sanjo;M. Murata;H. Kumagai;Y. Nabekawa;K. Midorikawa;and M. Chigane
• 通讯作者: and M. Chigane