MEMS pressure sensor arrays for the spatial- and time-resolved measurement of wall pressure and its fluctuation in turbulent flow

MEMS 压力传感器阵列，用于空间和时间分辨测量壁压及其在湍流中的波动

• 批准号: 5407711
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Ernst Obermeier
• 金额: --
• 依托单位: Fakultät IV - Elektrotechnik und Informatik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5407711?language=en
• 关键词: MEMS; pressure; sensor; arrays; spatial

In dem beantragten Vorhaben ist die Entwicklung von MEMS-DruckMikrosensorarrays für die bildgebende Erfassung des Wanddruckfeldes geplant, welche unter Verwendung der verfügbaren MEMS (Microelectromechanical Systems) - Prozesse auf Siliziumbasis realisiert werden sollen. Es ist beabsichtigt, zunächst Einzelsensoren und Lineararrays zu entwickeln, die später zu 2DArrays erweitert werden. Die Drucksensoren werden für einen Messbereich von ± 100 Pa, einer Frequenzauflösung bis zu 10 kHz und eine räumliche Auflösung von 5-2 mm ausgelegt. Um die druckbedingte Auslenkung der Sensor-Membran zu erfassen, werden vier monolithisch integrierte Piezowiderstände in Wheatstone Brückenschaltung verwendet, deren elektrische Ausgangsspannung sich proportional mit dem zu messenden Druck ändert. Um eine Erfassung des Wanddruckfeldes an gekrümmten Flächen vornehmen zu können, werden 2D-Arrays auch auf einem flexiblen Träger realisiert. Die Sensoren werden bei den Partnerinstituten in Aachen, Berlin und Rostock in Kanalexperimenten praktisch erprobt.

在DEM beantangten Vorhaben ist die Entwicksolum von MEMS-DruckMikroensorarararararArrades die bildgebende Erfassung des WanddruckFeldes geants，well che Under Verwendung der Verfügbaren MEMS(MicroElectronics Systems)-Prozesse auf Siliziumbase realisiert wallen Sollen。在此基础上，提出了两种不同的线阵结构，即线阵和线阵。他们的压力为±100帕，频率为10 khz和5-2 mm。在Bheatstone Brucenschaltung verwendet，Deren elektrische Ausangsspannung sich成比例的MIT Dem zu Messenden Druckändert中，被浸泡在传感器的Auslenkung der传感器-膜zu erfassen，是一个整体的整体。这是一种灵活的二维阵列。De Sensoren在亚琛、柏林和罗斯托克都有合作伙伴关系。