Fabrication of high-performance devices using imprinting onto chalcogenide glasses

利用硫族化物玻璃压印制造高性能器件

• 批准号: 23760052
• 负责人: ITSUNARI Yamada
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: The University of Shiga Prefecture
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760052/
• 关键词: ワイヤグリッド偏光子; 赤外線; カルコゲナイドガラス; インプリント加工; 反射防止構造

A mid-infrared wire-grid polarizer with a 500-nm pitch was fabricated on a low toxic chalcogenide glass (Sb-Ge-Sn-S system) by the thermal imprinting of periodic grating followed by the thermal evaporation of Al metal. After imprinting, deposition of Al on the grating at oblique angle produced a wire-grid polarizer. The fabricated polarizer showed polarization with TM transmittance greater than 60% wavelengths and an extinction ratio greater than 20 dB at 5-9 um wavelengths.

采用热压印周期光栅和热蒸发金属铝的方法，在低毒性硫系玻璃（Sb-Ge-Sn-S系统）上制备了间距为500 nm的中红外线栅偏振器。压印后，在光栅上以倾斜角度沉积Al产生线栅偏振器。所制造的偏振器显示出在5-9 μ m波长处TM透射率大于60%的偏振和大于20 dB的消光比。

项目成果

サブ波長周期構造を利用した反射型波長板

采用亚波长周期结构的反射波片

• 发表时间: 2012
• 作者: 森村皓之;田中慎一;石飛秀和;三上智之;蒲池雄介;近藤寿人;井上康志;石原隆明,山田逸成,柳沢淳一
• 通讯作者: 石原隆明,山田逸成,柳沢淳一

Direct imprinting on chalcogenide glass and fabrication of infrared wire-grid polarizer

硫系玻璃直接压印及红外线栅偏振片的制备

• 发表时间: 2013
• 作者: I. Yamada;N. Yamashita;T. Einishi;M. Saito;K. Fukumi;and J. Nishii
• 通讯作者: and J. Nishii

Modeling and imprint fabrication of an infrared wire-grid polarizer with an antireflection grating structure

具有减反射光栅结构的红外线栅偏振器的建模和压印制造

• 发表时间: 2014
• 期刊: Infrared Physics & Technology
• 影响因子: 3.3
• 作者: I. Yamada;N. Yamashita;T. Einishi;M. Saito;K. Fukumi;and J. Nishii
• 通讯作者: and J. Nishii

チタンの陽極酸化を利用した反射型偏光波長フィルタの作製と評価

钛阳极氧化反射型偏振波长滤光片的制作与评价

• 发表时间: 2013
• 作者: K. Aoki;S. Tanaka;H. Ishitobi;and Y. Inouye;奈良崎愛子;Y. Furukawa;横山遼,山田逸成,柳沢淳一
• 通讯作者: 横山遼,山田逸成,柳沢淳一

プラズモンナノ材料開発の最前線と応用 第2章3節干渉露光法

等离子体纳米材料开发与应用前沿第二章第三节干涉曝光法

• 发表时间: 2013
• 作者: Wei Wei;Sheng Wang;Zhaolin Gu;Kiwamu Kase;Yusuke Tajima;Takaaki Orii;Hideaki Takaku;Noboru Imai;Jungmyoung Ju and Yutaka Yamagata;山田逸成,西井準治
• 通讯作者: 山田逸成,西井準治