Fabrication of anti - reflection structures on thermoelectric thin films

热电薄膜抗反射结构的制作

• 批准号: 23760706
• 负责人: MIZOSHIRI Mizue
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23760706/
• 关键词: 微細加工; 熱電薄膜デバイス; 微細周期構造; リソグラフィ; 反射率; 反射防止構造; 熱電発電; 熱電薄膜

In this study, anti-reflection structures were fabricated on thermoelectric thin films which have high reflection efficiency of solar light. The reflection efficiency of the thin films could be reduced. Furthermore, the anti-reflection structures were int

本研究利用太阳光反射效率高的热电薄膜制作减反射结构。薄膜的反射效率会降低。此外，还设计了增透结构，

项目成果

太陽光集光型薄膜熱電発電モジュールの作製と評価

太阳能聚光薄膜温差发电模块的制作与评价

• 发表时间: 2011
• 作者: 飯島志行;久留宮晶;神谷秀博;溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
• 通讯作者: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋

Thermal-Photovoltaic Hybrid Solar Generator Using Thin-Film Thermoelectric Modules

• DOI: 10.1143/jjap.51.06fl07
• 发表时间: 2012-06-01
• 期刊: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
• 影响因子: 1.5
• 作者: Mizoshiri, Mizue;Mikami, Masashi;Ozaki, Kimihiro
• 通讯作者: Ozaki, Kimihiro

ターゲット加熱型高速スパッタ成膜法による熱電厚膜の作製

靶材加热高速溅射沉积法制备热电厚膜

• 发表时间: 2012
• 期刊: Proceedings of the 27th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied System
• 作者: M. Mizoshiri;M. Mikami;K. Ozaki;K. Kobayashi;溝尻瑞枝
• 通讯作者: 溝尻瑞枝

耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト・オフパターニング

使用耐热掩模的热电厚膜剥离图案化

• 发表时间: 2013
• 作者: 飯島志行;田嶋真一;山崎美和;神谷秀博;溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋
• 通讯作者: 溝尻瑞枝,三上祐史,尾崎公洋

耐熱マスクを用いた熱電厚膜のリフト･オフパターニング

使用耐热掩模的热电厚膜剥离图案化

• 发表时间: 2013
• 作者: 木村窓香;神谷秀博;飯島志行;溝尻 瑞枝
• 通讯作者: 溝尻 瑞枝