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自己組織化ナノドットフェライト薄膜の高密度磁気記録用パターン化媒体への応用

自组装纳米点铁氧体薄膜在高密度磁记录图案介质中的应用

基本信息

批准号：
12F02062
负责人：
森迫昭光
金额：
$ 1.47万
依托单位：
Shinshu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2012
资助国家：
日本
起止时间：
2012 至 2013
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では、磁性酸化物(フェライト)薄膜の応用に関して、その極薄領域薄膜では、金の自己組織化下地層を用いた超高密度垂直磁気記録用パターン媒体の基礎的研究を行った。金下地層、特に金ナノドットを形成した場合、ナノドットでは基板加熱のための赤外線を吸収し高温になり、ドットのない部分では赤外線は透過(ガラス基板の場合)温度上昇が少ない。すなわち金ドット上では昇温が容易であり、フェライトの結晶化を選択的にできる。これによって自己組織化的に高密度記録が可能なパターン化媒体を形成しようとするものである。本研究では、直流マグネトロンスパッタ法ならびに高周波スパッタ法を検討した。前者では、100度付近で18nm程度のナノドットが形成されることが明らかになった。更に高温ではドット径は増加する結果になっている。この金下地層上にストロンチウムフェライト層を基板温度500℃前後で形成すると、磁気力顕微鏡ではドット状の磁区が観察される。またTEMで断面構造を観察すると、金ドット上では六方晶フェライトの格子像が、そして金ドットの無い部分では何も観察されず、非晶質状態であることが明らかになった。一方、後者では、原因は究明できてないが数ナノメートルの極微細な金スポットが形成できることが明らかになった。規則配列化に関しては不十分である。今後金ナノドット規則配列化条件の最適化が重要であり、薄膜形成時のバイアス電圧等を詳細に検討する必要がある。磁性層としてより低温形成可能なスピネル系薄膜の検討を行い、保磁力が数キロOeと言う高保磁力化に成功した。電波吸収体としての厚膜に関しては、スプレイコーティング法により、Y型フェロックスプレーの形成を確認している。しかしながら再現性に関しては十分な成果は得られてない。25年度半期は、スピネルフェライトのナノパーティクルに関する研究も行い、チップインダクターとして使用可能な特性の優れた微粉末を形成できた。

This study is aimed at fundamental research on the application of magnetic acidified thin films in ultra-thin regions, thin films in ultra-high density vertical magnetic recording, and thin films in self-organized layers. The temperature rise of the substrate heated by the infrared ray absorption at high temperature and the infrared ray transmission at the middle part of the substrate is reduced when the metal layer is formed. It is easy to heat up and crystallize on the surface of the metal. This self-organized high-density recording is possible in the form of media. In this study, the direct current generation method and the high frequency generation method are discussed. The former is close to 100 degrees and 18nm. The temperature is higher, and the diameter is higher. The upper layer of the metal layer is formed around the substrate temperature of 500℃, and the magnetic force microscope is used to observe the magnetic region. The TEM section structure is observed in the hexagonal crystal lattice pattern on the gold plate, and the amorphous state is observed in the amorphous state. One side, the latter is opposite, the reason is clear, the number is small, the fine dust is small, the formation is clear, the reason is clear. Rule allocation is not very important. In the future, it is important to optimize the conditions for the regular arrangement of gold, and it is necessary to discuss in detail the voltage during the formation of thin films The magnetic layer can be formed at low temperature, and the magnetic layer can be successfully formed at high temperature. The formation of a thick film on a radio wave absorber is confirmed. Reproducibility is the key to success. 25 years of research on the use of fine powders with excellent properties