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窒化鉄薄膜の巨大な磁気モ-メントに対する残留ガスのおよぼす影響に関する研究

残余气体对氮化铁薄膜大磁矩的影响研究

基本信息

批准号：
02650219
负责人：
森迫昭光
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Shinshu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1990
资助国家：
日本
起止时间：
1990 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02650219/
关键词：
高飽和磁化窒化鉄薄膜残留ガススパッタリング軟磁性薄膜

项目摘要

鉄・窒素間化合物にはいろいろなものがあり,各相によって出現する磁気特性は異なる。本研究では高飽和磁化・軟磁性薄膜に注目した。軟磁性はαーFe相とγ'ーFe_4N相の境界領域において出現する。これはミクロにはαーFeの結晶磁気異方性が他の結晶構造(γ'ーFe_4N)との混在により弱められたためである。またこの時,マクロな磁気異方性が誘起される。これはプラズマ収束用磁界による誘導磁気異方性であることが明らかになった。一方,純鉄と同等もしくはそれ以上の高飽和磁化を有する薄膜は,αーFe単相そしてγ'ーFe_4Nとの混相領域で形成される。このことは,高飽和磁化をもつ準安定α″ーFe_<16>N_2相が形成されている可能性を示唆しているが,X線回折法では現在のところ検出されてない。残留ガス分析の結果,真空槽内には種々の残留ガスが存在することが明らかとなった。主なものは水,窒素,酸素そして炭化水素であった。薄膜作製(スパッタ)時の圧力調整は高圧バルブによるコンダクタンス調整によって行っている。すなわちバルブを閉じながら調整している。この時の各残留ガスの成分の変化を詳細に検討した結果,次のことが明らかになった。水,窒素そして酸素は単調に増加する。つまり到達圧力が上昇することに相当する。一方,炭化水素と思われるスペクトルは極小値をもつ変化をする傾向にあった。そしてこの極小値の時の圧力が,高飽和磁化を有する薄膜が形成される圧力とほぼ一致した。この炭化水素と思われる残留ガスの存在が,高飽和磁化を有する相の形成を困難にしているということが明らかになった。加えて,アルゴンもしくは窒素ガスを導入すると水に関連する成分ガスの増加も認められた。この原因は現在明かではないが,高純度ガスといえどもボンベも含めて不純物ガス,特に水の混入には十分な配慮が必要であることが明らかになった。

The compounds between asphyxiant and asphyxiant are not affected by each other, and the magnetic properties of each phase are different from each other. In this study, we focus on the magnetization and magnetization of magnetic thin films. Magnetic field, Fe phase, γ 'phase, Fe_4N phase, boundary, boundary The magnetic properties of the α-Fe crystal are different from that of the γ'- Fe_4N crystal. When you are in a bad situation, the magnetic field will cause a bad situation. The magnetic field is used to guide the magnetic properties of the beam. On the one hand, there is a thin film with the same height and magnetization, and the miscible field is formed in the miscible field of α-Fe phase and γ-Fe_4N phase. The possibility of the formation of high temperature, high temperature and magnetized Fe_<16>N_2 is the same as that of magnetization, and the X-ray folding method shows that the X-ray back-folding method is now showing signs of failure. The results of residue analysis show that there are many kinds of residual gases in the vacuum tank. The main ingredients are water, asphyxiant, acid and carbonized water. When the film is used, it is necessary to adjust the performance of the film. I don't know. I don't know what to do. The residual components of each residue were analyzed to verify the results of the test results, and the secondary test was used to verify the results. Water, asphyxiate, acid, water, asphyxiate, asphyxiate, asphyxiate, You can't tell me how much you want to know. On the one hand, carbonized water is used to reduce the temperature. The pressure is very small, and the high pressure and magnetization have the same pressure on the film. The carbonized water element is thought to exist, the high temperature and the magnetization have the same phase to form a trap, and the magnetization is not clear. Add asphyxiate to the water, add the ingredients to the water, and add the ingredients to it. The reason for this is that the reason is now clear that the temperature is very high, and that there is something wrong with it, and that it is necessary to mix it with water.