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Development of nano-droplet laser CVD process and application to functional ceramics coatings
纳米液滴激光CVD工艺开发及其在功能陶瓷涂层中的应用
基本信息
- 批准号：23686096
- 负责人：
- 金额：$ 16.97万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011-04-01 至 2014-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Laser-assisted chemical vapor deposition using electro-sprayed nano-droplets as source has been newly developed. In this process, decrease of a surface temperature caused by vaporization of solvents and source molecules can be suppressed by direct energy supply to the surface by laser, and homogenization reaction in gas phase vapor can also be suppressed by electrostatic repulsion of charged droplets. Consequently as a result, a source yield and a deposition rate was much improved comparing to a conventional CVD.
激光辅助化学气相沉积技术是近年来发展起来的一种新型沉积技术。在该过程中，可以通过激光直接向表面提供能量来抑制由溶剂和源分子的蒸发引起的表面温度的降低，并且还可以通过带电液滴的静电排斥来抑制气相蒸气中的均匀化反应。因此，与常规CVD相比，源产率和沉积速率大大提高。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
レーザーCVDよる実用工具コーティング
实用的激光 CVD 刀具涂层
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Takamatsu;Y. Daiko;S. Kohara;K. Suzuya;A. Mineshige;T. Yazawa;一ノ瀬雅之;木村禎一
- 通讯作者：木村禎一
Domain boundary structures in lanthanum lithium titanates
- DOI：10.1039/c3ta13726k
- 发表时间：2014-01-01
- 期刊：
- 影响因子：11.9
- 作者：Gao, Xiang;Fisher, Craig A. J.;Ikuhara, Yuichi
- 通讯作者：Ikuhara, Yuichi
Lithium Atom and A-Site Vacancy Distributions in Lanthanum Lithium Titanate
- DOI：10.1021/cm3041357
- 发表时间：2013-05-14
- 期刊：
- 影响因子：8.6
- 作者：Gao, Xiang;Fisher, Craig A. J.;Ikuhara, Yuichi
- 通讯作者：Ikuhara, Yuichi
レーザーCVDによる実用工具コーティング
实用的激光 CVD 刀具涂层
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Yokota;K. Ichikawa;and M. Gomi;木村禎一
- 通讯作者：木村禎一
Preparation of multi-layer hard coating for cutting tools by laser CVD
激光CVD制备多层切削刀具硬质涂层
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T.Kimura;T. Matsuda;H. Nomura;H. Matsubara
- 通讯作者：H. Matsubara
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- 资助金额：
$ 16.97万 - 项目类别：
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