Area-selective direct synthesis of carbon nanofibers on the plastic substrates

塑料基底上区域选择性直接合成碳纳米纤维

• 批准号: 23710123
• 负责人: MORI Shinsuke
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23710123/
• 关键词: ナノ構造形成; 制御; カーボンナノファイバー; carbon nanofiber; plasma enhanced CVD; Area-selective growth; CVD; plasma; area selective; low temperature; photolithography

The area-selective synthesis of carbon nanofibers were performed by plasma-enhanced chemical vapor deposition in a CO/O2/Ar DC discharge system and conventional photolithography process. We could successfully synthesize CNFs area-selectively on the plastic substrates and plastic substrate with thin metal layer.

在CO/O2/Ar直流放电系统和常规光刻工艺中，采用等离子体增强化学气相沉积的方法实现了碳纳米纤维的面选择合成。我们可以在塑料衬底和金属薄层塑料衬底上成功地面选择性地合成碳纳米纤维。

项目成果

カーボンナノファイバーの無触媒低温プラズマCVDにおける基板形状の影響

基底形状对碳纳米纤维非催化低温等离子体CVD的影响

• 发表时间: 2011
• 作者: 森伸介;山田悠介;鈴木正昭
• 通讯作者: 鈴木正昭

Fabrication of a-C:H thin film by Atmospheric Pressure Plasma Jet for Liquid Crystal Alignment

大气压等离子体射流制备a-C:H薄膜用于液晶取向

• 发表时间: 2012
• 作者: Baitukha Alibi;森伸介;鈴木正昭
• 通讯作者: 鈴木正昭

Synthesis of carbon nanowalls by plasma-enhanced chemical vapor deposition in a CO/H2 microwave discharge system

• DOI: 10.1016/j.diamond.2011.06.021
• 发表时间: 2011-08-01
• 期刊: DIAMOND AND RELATED MATERIALS
• 影响因子: 4.1
• 作者: Mori, Shinsuke;Ueno, Takanori;Suzuki, Masaaki
• 通讯作者: Suzuki, Masaaki

マイクロ波プラズマCVD法によるカーボンナノウォー ルの合成と色素増感太陽電池対極性能に与える化学修飾の影響

微波等离子体CVD法合成碳纳米墙及其化学修饰对染料敏化太阳能电池对电极性能的影响

• 发表时间: 2013
• 作者: Shinsuke Mori;Takanori Ueno;Masaaki Suzuki;成田洋平，原田俊也，石井聡，小倉正平，米村博樹，松本益明，福谷克之，*関場大一郎;梶本真司 ,白澤大輔 ,中村尭祉 ,福村裕史;鐘田 匠
• 通讯作者: 鐘田 匠

Modification of a-C:H film surface by atmospheric pressure plasma jet for liquid crystal alignment

大气压等离子体射流对a-C:H薄膜表面进行改性以实现液晶配向

• 发表时间: 2012
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: Alibi Baitukha;Shinsuke Mori;Masaaki Suzuki
• 通讯作者: Masaaki Suzuki