Development of Spherical Aberration Correction Technique for Electron Optical Systems using an Annular Objective Pupil and an Auxiliary Proximity Electrode

使用环形物镜光瞳和辅助接近电极开发电子光学系统球差校正技术

• 批准号: 24360020
• 负责人: IKUTA TAKASHI
• 金额: $ 12.06万
• 依托单位: Osaka Electro-Communication University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24360020/
• 关键词: 電子顕微鏡; 走査型透過電子顕微鏡; 球面収差補正; 静電型Csコレクター; 円環状対物瞳; 3次元収束プロファイル; 電子ビーム露光; 微細加工技術; 走査型電子顕微鏡; 電子光学系; ３次元収束プロファイル

项目成果

走査透過電子顕微鏡による位相計測のための電子検出器の開発II

使用扫描透射电子显微镜进行相位测量的电子检测器的开发II

• 发表时间: 2012
• 作者: 石田高史;児玉哲司;小粥啓子;生田孝
• 通讯作者: 生田孝

Experiments on focal depth extension of aberration-corrected scanning transmission electron microscope with annular aperture.

环形孔径像差校正扫描透射电子显微镜焦深扩展实验

• 作者: T. Kawasaki;T. Ishida;T. Matsutani;T. Kodama;K. Ogai;T. Ikuta;M. Ichihashi;T. Tanji
• 通讯作者: T. Tanji

輪帯照射を用いた走査型位相差光学顕微鏡による生体組織細胞の観察

使用环形照射的扫描相差光学显微镜观察生物组织细胞

• 发表时间: 2013
• 期刊: 生体医工学シンポジウム2013講演予稿集
• 作者: 三宅泰広;日坂真樹;生田孝
• 通讯作者: 生田孝

Phase reconstruction in annular bright-field STEM

环形明场 STEM 中的相位重建

• 发表时间: 2014
• 作者: T. Ishida;T. Kawasaki;T. Kodama;K. Ogai;T. Ikuta and T. Tanji
• 通讯作者: T. Ikuta and T. Tanji

ABF位相法による結晶構造の定量解析

使用ABF相法定量分析晶体结构

• 发表时间: 2014
• 作者: 石田高史;川﨑忠寛;丹司敬義
• 通讯作者: 丹司敬義