Chemical reaction mechanism analysis of applying the Arrhenius law to the surface reaction between the hydrogen radical and the polymer solid

应用阿累尼乌斯定律分析氢自由基与聚合物固体表面反应的化学反应机理分析

• 批准号: 24560032
• 负责人: HORIBE HIDEO
• 金额: $ 3.49万
• 依托单位: Osaka City University (2013-2014)Kanazawa Institute of Technology (2012)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24560032/
• 关键词: 水素ラジカル; 加熱触媒体; 高分子固体; 表面反応; アレニウス則; 化学反応機構; 化学反応機構解明; レジスト; 活性化エネルギー; 主鎖架橋型ポリマー; 主鎖崩壊型ポリマー; ポリマー膜

项目成果

高分子科学研究室

高分子科学实验室

High removal rate of cross-linked SU-8 resist using hydrogen radicals generated by tungsten hot-wire catalyzer

利用钨热丝催化剂产生的氢自由基对交联 SU-8 抗蚀剂进行高去除率

• DOI: 10.1016/j.tsf.2014.04.062
• 发表时间: 2014
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: A. Kono;Y. Arai;T. Maruoka;M. Yamamoto;Y. Goto;S. Takahashi;T. Nishiyama;H. Horibe
• 通讯作者: H. Horibe

Study of the decomposition mechanism of PMMA-type polymers by hydrogen radicals

• DOI: 10.1016/j.tsf.2014.10.021
• 发表时间: 2015-01
• 期刊: Thin Solid Films
• 影响因子: 2.1
• 作者: Y. Arai;Y. Noto;Yousuke Goto;Seiji Takahashi;Masashi Yamamoto;T. Nishiyama;A. Kono;T. Ishijima;K. Ishikawa;M. Hori;H. Horibe

水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解機構の解明

阐明氢自由基对 PMMA 基聚合物的分解机理

• 作者: 新井祐;能登雄佑;渡邉誠;鷲見直也;高橋聖司;河野昭彦;石川健治;堀勝;堀邊英夫
• 通讯作者: 堀邊英夫

加熱触媒体により生成した水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解

PMMA聚合物被加热催化剂产生的氢自由基分解

• 发表时间: 2013
• 作者: 中田 淳也，小山 浩司;戸坂 亜希 ，重田 諭吉;堀邊 英夫，新井 祐
• 通讯作者: 堀邊 英夫，新井 祐