Development of efficient water window x-ray band-emission source by high-Z highly ionized ions

高Z高电离离子高效水窗X射线带发射源的开发

基本信息

  • 批准号:
    24560038
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.41万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2012
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2012-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专利数量(0)
Sources for beyond extreme ultraviolet lithography and water window imaging
  • DOI:
    10.1088/0031-8949/90/5/054002
  • 发表时间:
    2015-04
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.9
  • 作者:
    G. O’Sullivan;Bowen Li;P. Dunne;P. Hayden;D. Kilbane;R. Lokasani;E. Long;H. Ohashi;F. O’Reilly;J. Sheil;P. Sheridan;E. Sokell;C. Suzuki;E. White;T. Higashiguchi
  • 通讯作者:
    G. O’Sullivan;Bowen Li;P. Dunne;P. Hayden;D. Kilbane;R. Lokasani;E. Long;H. Ohashi;F. O’Reilly;J. Sheil;P. Sheridan;E. Sokell;C. Suzuki;E. White;T. Higashiguchi
A microplasma high-brightness EUV source at 13.5 nm
13.5 nm 微等离子体高亮度 EUV 光源
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Goki Arai;Hiroyuki Hara;Yuhei Suzuki;Thanh Hung Dinh;and Takeshi Higashiguchi
  • 通讯作者:
    and Takeshi Higashiguchi
Radiation hydrodynamic simulation of a high-brightness 13.5-nm EUV microplasma by use of a dot target
使用点靶对高亮度 13.5 nm EUV 微等离子体进行辐射流体动力学模拟
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Hiroyuki Hara;Goki Arai;Yuhei Suzuki;Hayato Ohashi;Takeshi Higashiguchi;and Atsushi Sunahara
  • 通讯作者:
    and Atsushi Sunahara
Dynamics of the ultrashort laser pulse in a capillary discharge-preformed argon plasma channel
毛细管放电氩等离子体通道中超短激光脉冲的动力学
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Takeshi Higashiguchi;Nadezhda Bobrova;Shohei Sakai;Noboru Yugami;Yasuhiko Sentoku;and Ryosuke Kodama
  • 通讯作者:
    and Ryosuke Kodama
Characteristics of 6.X-nm Beyond EUV sources
6.X-nm Beyond EUV 光源的特性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    日隈康裕;茶円豊;姜海松;木津昴明;萩尾拓真;中村誠希;田島章雄;浜本貴一;Takeshi Higashiguchi
  • 通讯作者:
    Takeshi Higashiguchi
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  • 通讯作者:
    HIGASHIGUCHI Takeshi

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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    $ 3.41万
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知道了