Flexible beam profile laser system and its application for improvement of dielectric constant of electric ceramics thin layer

柔性光束轮廓激光系统及其在提高电陶瓷薄层介电常数中的应用

基本信息

  • 批准号:
    24560881
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.58万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2012
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2012-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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半導体レーザーによる微細アニーリング
使用半导体激光的精细退火
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    谷川大地;阿部信行;塚本雅裕;舟田義則;森正和
  • 通讯作者:
    森正和
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