Nanocrystalline Silicon Films Prepared by Supersonic Free-Jet PVD

超音速自由喷射PVD制备纳米晶硅薄膜

• 批准号: 24560891
• 负责人: YUMOTO Atsushi
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: Shibaura Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2012-04-01 至 2015-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24560891/
• 关键词: ナノ結晶材料; ナノ粒子; 超音速ガス流; シリコン半導体; リチウムイオン2次電池負極; 薄膜太陽電池; ナノ結晶

项目成果

活性プラズマ－金属反応を組み入れた超音速フリージェットPVDによるAlN膜の形成

通过结合活性等离子体-金属反应的超音速自由喷射 PVD ​​形成 AlN 薄膜

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史，前野由香里，永山勝久，丹羽直毅
• 通讯作者: 湯本敦史，前野由香里，永山勝久，丹羽直毅

超音速フリージェットPVDによる次世代リチウムイオン二次電池用Si負極の充放電時の電流密度の影響

超音速自由喷射PVD下一代锂离子二次电池硅负极充放电过程中电流密度的影响

• 发表时间: 2015
• 作者: 福岡克弘;小林正樹;尾崎智裕;及川芳朗;榊 和彦，中村 純一，中西 良太，湯本 敦史
• 通讯作者: 榊 和彦，中村 純一，中西 良太，湯本 敦史

超音速フリージェットPVDによるナノ結晶Fe-Co軟磁性膜の形成

超音速自由喷射PVD形成纳米晶Fe-Co软磁薄膜

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史，前野由香里，永山勝久，丹羽直毅;福岡克弘;潮田彩，湯本敦史，永山勝久，中村勲，竹澤勉，丹羽直毅
• 通讯作者: 潮田彩，湯本敦史，永山勝久，中村勲，竹澤勉，丹羽直毅

超音速フリージェットPVDによる次世代リチウムイオン二次電池用Si負極の作製と評価

利用超音速自由喷射PVD制备下一代锂离子二次电池硅负极

• 发表时间: 2014
• 作者: N.Kasai;A.Takada and K.Fukuoka;中西 良太，榊 和彦，中村 純一，湯本 敦史
• 通讯作者: 中西 良太，榊 和彦，中村 純一，湯本 敦史

超音速フリージェットPVDによるNd-Fe系膜の膜組成が及ぼす磁気特性への影響

超音速自由喷射PVD法制备Nd-Fe基薄膜磁性能的影响

• 发表时间: 2012
• 作者: K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史，前野由香里，永山勝久，丹羽直毅;福岡克弘;潮田彩，湯本敦史，永山勝久，中村勲，竹澤勉，丹羽直毅;小林英仁，湯本敦史，永山勝久，中村勲，竹澤勉，丹羽直毅
• 通讯作者: 小林英仁，湯本敦史，永山勝久，中村勲，竹澤勉，丹羽直毅