Nanocrystalline Silicon Films Prepared by Supersonic Free-Jet PVD

超音速自由喷射PVD制备纳米晶硅薄膜

基本信息

  • 批准号:
    24560891
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.08万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2012
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2012-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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活性プラズマ-金属反応を組み入れた超音速フリージェットPVDによるAlN膜の形成
通过结合活性等离子体-金属反应的超音速自由喷射 PVD ​​形成 AlN 薄膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史,前野由香里,永山勝久,丹羽直毅
  • 通讯作者:
    湯本敦史,前野由香里,永山勝久,丹羽直毅
超音速フリージェットPVDによる次世代リチウムイオン二次電池用Si負極の充放電時の電流密度の影響
超音速自由喷射PVD下一代锂离子二次电池硅负极充放电过程中电流密度的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    福岡克弘;小林正樹;尾崎智裕;及川芳朗;榊 和彦,中村 純一,中西 良太,湯本 敦史
  • 通讯作者:
    榊 和彦,中村 純一,中西 良太,湯本 敦史
超音速フリージェットPVDによるナノ結晶Fe-Co軟磁性膜の形成
超音速自由喷射PVD形成纳米晶Fe-Co软磁薄膜
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史,前野由香里,永山勝久,丹羽直毅;福岡克弘;潮田彩,湯本敦史,永山勝久,中村勲,竹澤勉,丹羽直毅
  • 通讯作者:
    潮田彩,湯本敦史,永山勝久,中村勲,竹澤勉,丹羽直毅
超音速フリージェットPVDによる次世代リチウムイオン二次電池用Si負極の作製と評価
利用超音速自由喷射PVD制备下一代锂离子二次电池硅负极
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    N.Kasai;A.Takada and K.Fukuoka;中西 良太,榊 和彦,中村 純一,湯本 敦史
  • 通讯作者:
    中西 良太,榊 和彦,中村 純一,湯本 敦史
超音速フリージェットPVDによるNd-Fe系膜の膜組成が及ぼす磁気特性への影響
超音速自由喷射PVD法制备Nd-Fe基薄膜磁性能的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2012
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K.Fukuoka;I.Kawagoe;湯本敦史,前野由香里,永山勝久,丹羽直毅;福岡克弘;潮田彩,湯本敦史,永山勝久,中村勲,竹澤勉,丹羽直毅;小林英仁,湯本敦史,永山勝久,中村勲,竹澤勉,丹羽直毅
  • 通讯作者:
    小林英仁,湯本敦史,永山勝久,中村勲,竹澤勉,丹羽直毅
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  • 财政年份:
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  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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