Design and development of MEMS-based thermal triple-axis accelerometer by computer simulation of unsteady thermofluid motion

非定常热流体运动计算机模拟设计与开发基于MEMS的热三轴加速度计

• 批准号: 25390047
• 负责人: Ogami Yoshifumi
• 金额: $ 3.24万
• 依托单位: Ritsumeikan University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25390047/
• 关键词: ナノマイクロセンサー; 加速度センサー; MEMS; 数値流体力学; 熱流体

项目成果

Design and Analysis of a Triple-Axis Thermal Accelerometer

三轴热加速度计的设计与分析

• 作者: H. Yamaguchi;D.-C. Che;Y. Hirano;M. Suzuki;Y. Higuchi and T. Matsumoto;Thien X. Dinh， Y. Ogami
• 通讯作者: Thien X. Dinh， Y. Ogami

Development of a Triple-Axis Acceleration Sensor

三轴加速度传感器的开发

• 作者: N. Murakita;Y. Ogami and K. Fukudome;村北直哉，福留功二，大上 芳文;Thien X. Dinh， Y. Ogami;Thien X. Dinh， Y. Ogami
• 通讯作者: Thien X. Dinh， Y. Ogami

Analysis of MEMS-Based Thermal Triple-Axis Accelerometer

基于 MEMS 的热三轴加速度计分析

• 发表时间: 2016
• 作者: N. Murakita;Y. Ogami and K. Fukudome
• 通讯作者: Y. Ogami and K. Fukudome

MEMS による熱検知型3 軸加速度センサーの設計と解析

采用MEMS的热检测型三轴加速度传感器的设计与分析

• 发表时间: 2015
• 作者: N. Murakita;Y. Ogami and K. Fukudome;村北直哉，福留功二，大上 芳文
• 通讯作者: 村北直哉，福留功二，大上 芳文

熱検知型3 軸加速度センサーの設計と数値流体解析

热检测式三轴加速度传感器设计与计算流体分析

• 发表时间: 2016
• 作者: 竹田隼悟，村北直哉;福留功二，大上芳文
• 通讯作者: 福留功二，大上芳文