Computational analysis of reactive particle flow in inductively coupled processing plasmas under confronting divergent magnetic fields
面对发散磁场下感应耦合处理等离子体中反应粒子流的计算分析
基本信息
- 批准号:25400528
- 负责人:
- 金额:$ 2.5万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(0)
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专利数量(0)
特殊形状磁界下プラズマ中の荷電粒子輸送
特殊形状磁场下等离子体中带电粒子的输运
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:張月,高木雄太,國武和広,西城要;石村洋彦,佐藤直幸,池畑隆、鵜殿治彦;菅原 広剛
- 通讯作者:菅原 広剛
Monte Carlo simulation of electron motion in confronting divergent magnetic fields
面对发散磁场时电子运动的蒙特卡罗模拟
- DOI:
- 发表时间:2013
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:隅田脩平,市村真,ジャンソウォン,平田真史,池添竜也,岡田拓也,岩本嘉章,板垣惇平,小野寺悠斗,坂本瑞樹,吉川正志,市村和也,福山淳;中嶋洋輔;H. Sugawara and Y. Minami
- 通讯作者:H. Sugawara and Y. Minami
Electron behavior under characteristic magnetic fields applied to inductively coupled plasmas for control of charged particle transport
应用于电感耦合等离子体以控制带电粒子输运的特征磁场下的电子行为
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:R. Ikezoe;M. Ichimura;T. Okada;M. Hirata;T. Yokoyama;Y. Iwamoto;S. Sumida;S. Jang;K. Takeyama;M. Yoshikawa;J. Kohagura;Y. Shima;and X. Wang;Hirotake Sugawara
- 通讯作者:Hirotake Sugawara
対向発散磁界下誘導結合水素プラズマの解析
反向发散磁场下的感应耦合氢等离子体分析
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Ryuji Asami;Yasufumi Iryu;Kimio Hanawa;Takashi Miwa;Peter Holden;Ryuichi Shinjo and Gustav Paulay;菅原広剛
- 通讯作者:菅原広剛
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Sugawara Hirotake其他文献
Efficiency and limitation of periodic sample multiplication to reduce computational load in Monte Carlo simulations of electron swarms in gas under attachment-dominated conditions
附件主导条件下气体电子群蒙特卡罗模拟中周期性样本乘法减少计算量的效率和局限性
- DOI:
10.7567/jjap.57.038001 - 发表时间:
2018 - 期刊:
- 影响因子:1.5
- 作者:
要藤明洋;北島昌史;星野正光;Sugawara Hirotake - 通讯作者:
Sugawara Hirotake
対向発散磁界分界面上下領域における誘導結合磁化プラズマ中の周方向電子流の指向性
相对发散磁场分界面上下区域感应耦合磁化等离子体周向电子流方向性
- DOI:
- 发表时间:
2022 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
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- DOI:
- 发表时间:
2022 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
Nakashima Katsuhiro;Takahashi Hironori;Sugawara Hirotake;岡崎凌大,菅原広剛 - 通讯作者:
岡崎凌大,菅原広剛
Elliptic Vector Loci of Average Electron Velocity in Real Gases Under AC Electric and DC Magnetic Fields
交流电场和直流磁场下真实气体中平均电子速度的椭圆矢量轨迹
- DOI:
10.1109/tps.2020.3010315 - 发表时间:
2021 - 期刊:
- 影响因子:1.5
- 作者:
Nakata Yuya;Sato Takeshi;Sugawara Hirotake - 通讯作者:
Sugawara Hirotake
Stochastic electron energy gain in inductively coupled magnetized plasmas accompanying electron reflection at chamber wall
伴随室壁电子反射的电感耦合磁化等离子体中的随机电子能量增益
- DOI:
10.7567/jjap.57.126101 - 发表时间:
2018 - 期刊:
- 影响因子:1.5
- 作者:
Takahashi Hironori;Nakashima Katsuhiro;Yamamoto Tappei;Sugawara Hirotake - 通讯作者:
Sugawara Hirotake
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Analysis of energy-selective shutter and filter effects of separatrix of confronting divergent magnetic fields on electrons in plasma
等离子体中电子面对发散磁场分界线的能量选择快门和滤波效应分析
- 批准号:
16K05626 - 财政年份:2016
- 资助金额:
$ 2.5万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
相似海外基金
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- 批准号:
06J50932 - 财政年份:2006
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$ 2.5万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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$ 2.5万 - 项目类别:
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- 批准号:
16656263 - 财政年份:2004
- 资助金额:
$ 2.5万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
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使用感应耦合等离子体合成碳化硅期间的反应分析
- 批准号:
00J10511 - 财政年份:2000
- 资助金额:
$ 2.5万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows