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Computational analysis of reactive particle flow in inductively coupled processing plasmas under confronting divergent magnetic fields

Computational analysis of reactive particle flow in inductively coupled processing plasmas under confronting divergent magnetic fields
面对发散磁场下感应耦合处理等离子体中反应粒子流的计算分析
批准号：
25400528
负责人：
Sugawara Hirotake
金额：
$2.5万
依托单位：
Hokkaido University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25400528/
关键词：
磁化プラズマ誘導結合型プラズマフィルタ効果シミュレーション電子空間分布電子エネルギー利得磁界制御電子サイクロトロン共鳴

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通讯作者： 村山明宏
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通讯作者： 菅原　広剛
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通讯作者： H. Sugawara and Y. Minami
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通讯作者： Hirotake Sugawara
共 22 条
    Analysis of energy-selective shutter and filter effects of separatrix of confronting divergent magnetic fields on electrons in plasma
    • 批准号：
      16K05626
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      Sugawara Hirotake
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    海外基金