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Surface science of the highly doped silicon for the state of the art semiconductor devices in the next generation

Surface science of the highly doped silicon for the state of the art semiconductor devices in the next generation
用于下一代最先进半导体器件的高掺杂硅的表面科学
批准号:
25410015
负责人:
Matsumoto Taketoshi
金额:
$3.33万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2013
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2013-04-01 至 2016-03-31

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大阪大学産業科学研究所小林研究室
大阪大学产业科学研究所小林实验室
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
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DOI: --
发表时间: 2015
期刊:
影响因子: --
作者: [H. Sakagami, T. Johzaki, A. Sunahara and H. Nagatomo, 松本健俊,中島寛記,入鹿大地,野中啓章,今村健太郎,小林光]
通讯作者: 松本健俊,中島寛記,入鹿大地,野中啓章,今村健太郎,小林光
DOI: --
发表时间: 2014
期刊:
影响因子: --
作者: [F. Kaneko, N. Seto, S. Sato, S. Sakurai,, 廣瀬諒,松本健俊,小林光]
通讯作者: 廣瀬諒,松本健俊,小林光
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DOI: --
发表时间: 2013
期刊:
影响因子: --
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通讯作者: 松本健俊,赤井智喜,今井繁規,小林光
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