Development of High Efficiency Chemical Mechanical Polishing Method of Hard-to-Process Materials Using Slurry Behavior Control

利用浆料行为控制开发难加工材料的高效化学机械抛光方法

基本信息

  • 批准号:
    25420070
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.5万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2013
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2013-04-01 至 2016-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Investigation of Polishing Mechanism of Sapphire-CMP Using Commercially Available Single-Sided Polisher
使用市售单面抛光机研究蓝宝石-CMP 抛光机制
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Ryuji Kiyama;Takayuki Nonoyama;Susumu Wada;Nobuto Kitamura;Takayuki Kurokawa;Tasuku Nakajima;Kazunori Yasuda;Jian Ping Gong;Michio Uneda
  • 通讯作者:
    Michio Uneda
Influence of Linear Velocity Ratio on Removal Rate in Sapphire- Chemical Mechanical Polishing
蓝宝石化学机械抛光线速度比对去除率的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Michio Uneda;Keiichi Takano;Koji Koyama;Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
  • 通讯作者:
    Hideo Aida and Ken-ichi Ishikawa
サファイアCMPにおける研磨メカニズムの分析-スラリー並びに修正リングが研磨レートに及ぼす影響-
蓝宝石CMP抛光机理分析-研磨液和校正环对抛光速率的影响-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    S. Sakata;A. Hayashi;T. Terajima and Y. Nakao;A. Hayashi and Y. Nakao;高野圭市,畝田道雄,小山浩司,會田英雄,石川憲一
  • 通讯作者:
    高野圭市,畝田道雄,小山浩司,會田英雄,石川憲一
Relationships Between Polishing Variables, Removal Rate and Slurry Flow in Sapphire-CMP
蓝宝石-CMP 中抛光变量、去除率和浆料流量之间的关系
  • DOI:
  • 发表时间:
    2013
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Michio Uneda;Yuya Fukuta;Yasuaki Itou;Kazutoshi Hotta;Kazusei Tamai;Hitoshi Morinaga and Ken-ichi Ishikawa
  • 通讯作者:
    Hitoshi Morinaga and Ken-ichi Ishikawa
N-Face Finishing Influence on Geometry of Double-Side Polished GaN Substrate
N 面精加工对双面抛光 GaN 衬底几何形状的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Koji KOYAMA;Hideo AIDA;Michio UNEDA;Hidetoshi TAKEDA;Seong-Woo KIM;Hiroki TAKEI;Tsutomu YAMAZAKI;and Toshiro DOI
  • 通讯作者:
    and Toshiro DOI
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