非線形ＭＥＭＳ共振器を用いた演算形メモリの開発

使用非线性 MEMS 谐振器开发运算存储器

• 批准号: 14J00462
• 负责人: 八尾 惇
• 金额: $ 1.6万
• 依托单位: Kyoto University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-25 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-14J00462/
• 关键词: MEMS; 共振; AFM; ノイズ; 非線形; 共振器; 制御; ロジック; メモリ

本研究では、非線形MEMS (micro electro mechanical systems)共振器を用いた演算形メモリの基盤技術創出を目指している。得られた具体的な成果としては、（１）リプログラム可能な演算形メモリの実現、（２）演算形メモリの高速動作に向けたカンチレバー振動の基礎的知見、の２点である。（１）に関しては、前年度の結果を踏まえ、非線形MEMS 共振器を用いたリプログラム可能な演算形メモリの原理検証を数値計算及び実験により行った。本年度では、特に、MEMS共振器の収束領域のパラメータ依存性を検証した。この結果より、 パラメータを適切に選択することにより、非線形MEMS共振器を用いた演算形メモリ動作時のメモリ機能の性能向上が可能となった。結果として、リプログラム機能を有する演算形メモリの高性能化を実現した。（２）に関しては、平成26年度に実施したカンチレバーによる周波数逓倍器の検証の結果を踏まえ、カンチレバーの振動について検討した。本研究では、まず、ノイズ励振下でのカンチレバーの振動を応用することを検討した。結果として、励振機構を用いず、カンチレバーの熱振動波形を計測することで接触共振スペクトルを取得できる走査型熱振動顕微鏡（Scanning Thermal Noise Microscopy: STNM）を開発し、表面下構造の可視化に成功した。この結果は、当初の想定を超えた結果となった。今後は、ノイズ励振下での共振器を用いた演算形メモリについて検討していく予定である

In this study, the optical and non-linear MEMS (micro electro mechanical systems) resonators are used to simulate the target target by using the basic technology of numerical simulation. The results are as follows: (1) it is possible to realize the results of the computer simulation, (2) to realize the high-speed operation of the computer, and (2) to obtain the specific results. (1) it is possible to realize the realization of the computer simulation, and (2) to calculate the high-speed operation of the computer. (1) the results of the previous year, the results of the previous year, the calculation of the non-linear MEMS resonator, the calculation of the principle of the calculation and the calculation of the number of the non-linear QR resonator. This year, special, MEMS resonators are very important in the field of dependence. The results of the experiment show that the performance of the non-linear MEMS resonator can be improved by using the mathematical calculus to improve the performance. Results the results showed that there were significant differences in the ability of computer calculus to achieve high performance. (2) during the period of the year 26, the operation of the cycle wave multiplier was carried out in the year 26. The results showed that the vibration test was carried out. The purpose of this study is to use the vibration device to induce the vibration under the excitation. Results the results showed that the contact resonance micrometer (Scanning Thermal Noise Microscopy: STNM) was successfully operated and successfully operated by using the excitation machine and the excitation machine to measure the vibration waveform. The results showed that the results of the test were not satisfactory. In the future, under the excitation, the resonator is used to calculate the shape of the resonator.

项目成果

Logic-Memory Device of a Mechanical Resonator

• DOI: 10.1063/1.4896272
• 发表时间: 2014-07
• 期刊: Applied Physics Letters
• 影响因子: 4
• 作者: Atsushi Yao;T. Hikihara

エレクトロメカニカル共振器を用いたリプログラム機能を有する演算形メモリの一検討

使用机电谐振器的具有重编程功能的算术存储器的研究

• 发表时间: 2014
• 作者: 苅谷剛彦;玄田有史;渡辺靖;小島多恵子;熊倉純子;神門善久;狭間諒多朗;吉川徹;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;八尾惇;Atsushi Yao;Atsushi Yao;Atsushi Yao;八尾惇;八尾惇;Atsushi Yao;八尾 惇;八尾 惇
• 通讯作者: 八尾 惇

Nanoscale imaging of buried structures by scanning thermal noise microscopy

通过扫描热噪声显微镜对埋藏结构进行纳米级成像

• 发表时间: 2016
• 作者: 苅谷剛彦;玄田有史;渡辺靖;小島多恵子;熊倉純子;神門善久;狭間諒多朗;吉川徹;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;八尾惇;Atsushi Yao
• 通讯作者: Atsushi Yao

原子間力顕微鏡を用いた表面下構造の可視化

使用原子力显微镜可视化地下结构

• 发表时间: 2015
• 作者: 苅谷剛彦;玄田有史;渡辺靖;小島多恵子;熊倉純子;神門善久;狭間諒多朗;吉川徹;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;八尾惇;Atsushi Yao;Atsushi Yao;Atsushi Yao;八尾惇
• 通讯作者: 八尾惇

走査型熱振動顕微鏡を用いたポリマー膜下の金ナノ粒子の可視化

使用扫描热振动显微镜观察聚合物薄膜下的金纳米颗粒

• 发表时间: 2016
• 作者: 苅谷剛彦;玄田有史;渡辺靖;小島多恵子;熊倉純子;神門善久;狭間諒多朗;吉川徹;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;Atsushi Yao and Takashi Hikihara;八尾惇
• 通讯作者: 八尾惇