3D-Mikrokalibrierstrukturen und Referenzflächen zur quantitativen Analyse der Topographie von mikrostrukturierten Membranen

用于定量分析微结构膜形貌的 3D 微校准结构和参考表面

• 批准号: 5436816
• 负责人: Dr. Ludger Koenders
• 金额: --
• 依托单位: Abteilung 5 - Fertigungsmesstechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2008-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5436816?language=en
• 关键词: 3D; Mikrokalibrierstrukturen; und; Referenzfl; chen

Ziel des Projekts ist die quantitative Bestimmung der Topographie mikrostrukturierter Oberflächen von Membranen zur Gasfilterung. Deren funktionelle Schicht ist eine keramische Struktur mit Nano-Kanälen, die nur bestimmte Gase passieren lassen. Das derzeit für die Produktionskontrolle einzig verfügbare standardisierte Verfahren zur Bestimmung der technischen Oberflächenparameter ist das Nadeltastverfahren. Dieses Verfahren ist jedoch ungeeignet, Strukturtäler zu erfassen, die kleiner sind als der Nadeldurchmesser. Geeignete 3D-Verfahren sind die Mikrophotogrammetrie mittels Rasterelektronenmikroskop (REM) und die konfokale Laserrastermikroskopie (CLSM). Die Daten aus beiden Messverfahren sollen korreliert und für die Bestimmung der Topographie und der Rauheit eingesetzt werden. Die Fusion der Messdaten ist aber nur mit exakt kalibrierten Systemen möglich. Ziel dieser Zusammenarbeit ist es, hierfür mittels fokussierter Ionenstrahl (FIB) Technik flexibel gestaltbare und optimal skalierte Mikrostrukturen herzustellen, die für beide Messsysteme eingesetzt werden können. Durch die hochgenaue Vermessung (metrologisches AFM) können sie als Normale eingesetzt werden. Sowohl für die Anwendbarkeit zur Kalibierung als auch für die Kalibrieurng selbst soll die Anordnung und Topographie der Strukturen optimiert werden. Die FIB-Technik soll außerdem verwendet werden, um gemessene und simulierte Membranoberflächen in Originalgröße zu reproduzieren und diese mit den realen Oberflächen zu vergleichen.

Ziel des Projekts is die quantitative estimmung der Topographie mikrostrukturierter Oberflächen von Membranen zur Gasfilterung. Deren funktionelle Schicht是一种带有Nano-Kanälen的keramische Struktur，仅用于气体被动释放。Das derzeit für die Produktionskontrolle einzig verfügbare Verfahren zur Bestimmung der technischen Oberflächenparameter ist das Nadeltastverfahren.这是一个很小的结构，小孩子们都是被水冲走的。3D测量是光栅电子显微镜（REM）和激光全息显微镜（CLSM）的结合。这些数据来自于对地形和地貌韦尔登的精确测量。信息数据的融合只是一个简单的信息系统。Ziel dieser Zusammenarbeit ist es，hierfür mittels fokussierter Ionenstrahl（FIB）Technik flexibel gestaltbare and optimal skalierte Mikrostrukturen herzustellen，die für beide Messsysteme eingesetzt韦尔登können.测量原子力显微镜（AFM）的测量结果表明，它们是标准的韦尔登。Sowohl für die Anwendbarkeit zur Kalibierung als auch für die Kalibrieurng selbst soll die Anordnung und Topographie der Strukturen optimiert韦尔登。Die FIB-Technik soll außerdem verwendet韦尔登，um gemessene und simulierte Membranoberflächen in Originalgröße zu reproduzieren und diese mit den realen Oberflächen zu vergleichen.