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モノマー界面粘度の増加因子の究明に基づくサブ１５ｎｍの光ナノインプリント成形

基于单体界面粘度增加因素研究的亚15纳米光学纳米压印成型

基本信息

批准号：
16J05484
负责人：
伊東駿也
金额：
$ 0.83万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2016
资助国家：
日本
起止时间：
2016-04-22 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

光ナノインプリント技術は従来の光リソグラフィに代わる新規ナノ加工技術 “More Moore Technology” の一つとして注目されている。我々は最近明らかになってきた固体表面間のナノギャップ中での液体粘度増加現象が光ナノインプリント時にも生じると着想し、光ナノインプリント界面での重合性モノマーの粘度増加に関して表面力・共振ずり測定により研究している。本研究では、次世代ナノ加工技術として注目を集める光ナノインプリント技術によるサブ15nm成形に向けて、ジアクリレートモノマーの界面粘度増加因子の究明とサブ15nm高分子成形体の作製実証に着手してきた。本年度はジアクリレートモノマーの反応性密着層修飾シリカ表面間での粘度増加に関して表面力・共振ずり測定により評価した。アクリロイル基末端を有する密着層間では表面間距離<15nm程度からジアクリレートモノマーの粘度が増加した一方、メタクリロイル基末端の密着層間では表面間距離<12nmから粘度が増大した。表面間距離10nm時の粘度を比較するとアクリロイル基末端密着層間の方がメタクリロイル基末端密着層間に比べて1-2桁高い粘度を示すことを明らかにした。これはモノマーと同種の末端官能基を有する密着層間において表面－モノマー間の相互作用が増加したためと考えた。表面－モノマー間相互作用の増加による界面粘度の増大が示唆された。一般的に、光ナノインプリントにおいて密着層の基板上への修飾は液体の基板上への濡れ性向上や離型時の密着性向上に有利である。一方、サブ15nm成形において残膜厚が薄くなった際には粘度増加によりアライメントを困難にする可能性が示された。

The new processing technology "More Moore Technology" has been introduced in the past. Recently, we have studied the phenomenon of viscosity increase of liquids between solid surfaces, the occurrence of optical properties, the coincidence of optical properties between solid surfaces, and the measurement of surface forces and resonance. This study is aimed at investigating the interfacial viscosity increase factor of 15 nm polymer molded articles by focusing on the next generation of polymer molding technology. This year, the viscosity between the surfaces of the reflective adhesive layer was increased, and the surface force and resonance were measured. The viscosity increases when the distance between the two surfaces is less than 15nm, and when the distance between the two surfaces is less than 12nm. Viscosity comparison at surface distance of 10nm: 1-2 ° C Viscosity comparison at surface distance of 1-2 ° C Viscosity comparison at surface distance The interaction between the terminal functional groups of the same species increases. The increase of interfacial viscosity due to the increase of surface-to-surface interaction indicates that the interfacial viscosity increases. General, light, light, light The possibility of increasing viscosity due to the thin residual film thickness of a square and 15nm is shown.

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

反応性密着層修飾シリカ表面間での親油性モノマーのナノ流動性

反应性粘合剂层改性二氧化硅表面之间亲脂性单体的纳米流动性

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
伊東駿也;粕谷素洋;栗原和枝;中川勝
通讯作者：
中川勝

Development of UV-Curable Resins Suitable for Reverse-Tone Lithography for Au Metamaterials Using a Print-and-Imprint Method

使用印刷和压印方法开发适用于金超材料反色调光刻的紫外线固化树脂

DOI：
10.1246/bcsj.20170280
发表时间：
2018
期刊：
Bulletin of the Chemical Society of Japan
影响因子：
4
作者：
T. Uehara;S. Sato;S. Ito;H. Yano;T. Nakamura;M. Nakagawa
通讯作者：
M. Nakagawa

Elemental depth profiles and plasma etching rates of positive-tone electron beam resists after sequential infiltration synthesis of alumina

连续渗透合成氧化铝后正电子束抗蚀剂的元素深度分布和等离子体蚀刻速率

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Yuki Ozaki;Shunya Ito;Nobuya Hiroshiba;Takahiro Nakamura;and Masaru Nakagawa
通讯作者：
and Masaru Nakagawa

低粘度モノマーを介したシリカ表面間に生じる表面力の再現性

通过低粘度单体在二氧化硅表面之间产生的表面力的再现性