课题基金 / 基金详情

Development of multicharged ion beam assisted processing technology for high-speed etching of titanium micro mold

Development of multicharged ion beam assisted processing technology for high-speed etching of titanium micro mold
钛微模具高速刻蚀多电荷离子束辅助加工技术开发
批准号:
17K06101
负责人:
Asaji Toyohisa
金额:
$3.08万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2017
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2017-04-01 至 2020-03-31

项目摘要

项目成果

Asaji Toyohisa的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
DOI: --
发表时间: 2018
期刊:
影响因子: --
作者: [Toyohisa Asaji, Hiroya Uyama, Takuro Umetsugu, Tsubasa Nakamura, Takeshi Hitobo and Yushi Kato, 鵜山博也(富山高専),山崎達瑛(富山高専),浅地豊久(富山高専),人母岳(立山マシン(株)),中村翼(大島商船),加藤裕史(大阪大院)]
通讯作者: 鵜山博也(富山高専),山崎達瑛(富山高専),浅地豊久(富山高専),人母岳(立山マシン(株)),中村翼(大島商船),加藤裕史(大阪大院)
Development of 1.2-GHz ECR ion source and Wien filter for inexpensive ion beam processing system
开发用于廉价离子束处理系统的 1.2 GHz ECR 离子源和维恩滤波器
DOI: 10.1063/1.5127348
发表时间: 2019
期刊: Review of Scientific Instruments
影响因子: 1.6
作者: [Asaji Toyohisa, Uyama Hiroya, Umetsugu Takuro, Nakamura Tsubasa, Hitobo Takeshi, Kato Yushi]
通讯作者: Kato Yushi
DOI: --
发表时间: 2018
期刊:
影响因子: --
作者: [Toyohisa Asaji, Hiroya Uyama, Takuro Umetsugu, Tsubasa Nakamura, Takeshi Hitobo and Yushi Kato, 鵜山博也(富山高専),山崎達瑛(富山高専),浅地豊久(富山高専),人母岳(立山マシン(株)),中村翼(大島商船),加藤裕史(大阪大院), 山崎 達瑛,鵜山 博也,岡崎 陽大,浅地 豊久,人母 岳,加藤 裕史]
通讯作者: 山崎 達瑛,鵜山 博也,岡崎 陽大,浅地 豊久,人母 岳,加藤 裕史
Synthesis of endohedral fullerenes by using the metal ion beam system with hot-wall plasma chamber
海外基金