Development of multicharged ion beam assisted processing technology for high-speed etching of titanium micro mold

钛微模具高速刻蚀多电荷离子束辅助加工技术开发

• 批准号: 17K06101
• 负责人: Asaji Toyohisa
• 金额: $ 3.08万
• 依托单位: National Institute of Technology, Toyama College
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2017
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2017-04-01 至 2020-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17K06101/
• 关键词: イオンビーム; プラズマ; 微細加工; エッチング; 多価イオン; 電子サイクロトロン共鳴イオン源; ウィーンフィルタ; プラズマ加工

项目成果

デスクトップ型電子サイクロトロン共鳴イオン源用ウィーンフィルタの開発

台式电子回旋共振离子源维恩滤波器的研制

• 发表时间: 2018
• 作者: Toyohisa Asaji;Hiroya Uyama;Takuro Umetsugu;Tsubasa Nakamura;Takeshi Hitobo and Yushi Kato;鵜山博也(富山高専)，山崎達瑛(富山高専)，浅地豊久(富山高専)，人母岳(立山マシン(株))，中村翼(大島商船)，加藤裕史(大阪大院)
• 通讯作者: 鵜山博也(富山高専)，山崎達瑛(富山高専)，浅地豊久(富山高専)，人母岳(立山マシン(株))，中村翼(大島商船)，加藤裕史(大阪大院)

デスクトップ型ECRイオン源におけるイオン生成の高効率化

台式 ECR 离子源中离子发生效率高

• 发表时间: 2018
• 作者: Toyohisa Asaji;Hiroya Uyama;Takuro Umetsugu;Tsubasa Nakamura;Takeshi Hitobo and Yushi Kato;鵜山博也(富山高専)，山崎達瑛(富山高専)，浅地豊久(富山高専)，人母岳(立山マシン(株))，中村翼(大島商船)，加藤裕史(大阪大院);山崎 達瑛，鵜山 博也，岡崎 陽大，浅地 豊久，人母 岳，加藤 裕史
• 通讯作者: 山崎 達瑛，鵜山 博也，岡崎 陽大，浅地 豊久，人母 岳，加藤 裕史

Development of 1.2-GHz ECR ion source and Wien filter for inexpensive ion beam processing system

开发用于廉价离子束处理系统的 1.2 GHz ECR 离子源和维恩滤波器

• DOI: 10.1063/1.5127348
• 发表时间: 2019
• 期刊: Review of Scientific Instruments
• 影响因子: 1.6
• 作者: Asaji Toyohisa;Uyama Hiroya;Umetsugu Takuro;Nakamura Tsubasa;Hitobo Takeshi;Kato Yushi
• 通讯作者: Kato Yushi